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?。?、預(yù)減薄 使用沈陽(yáng)科晶設(shè)備制造有限公司生產(chǎn)的UNIPOL-300小型精密研磨拋光機(jī),可將薄圓片磨至20-30μm厚.用研磨機(jī)磨(或使用砂紙),可磨至幾十μm,使用凹坑減薄儀可將薄圓片磨至10μm厚.
d、終減薄 對(duì)于導(dǎo)電的樣品如金屬,采用電解拋光減薄,這方法速度快,沒(méi)有機(jī)械損傷,但可能改變樣品表面的電子狀態(tài),使用的化學(xué)試劑可能對(duì)身體有害.
對(duì)非導(dǎo)電的樣品如陶瓷,采用離子減薄,用離子轟擊樣品表面,使樣品材料濺射出來(lái),以達(dá)到減薄的目的.離子減薄要調(diào)整電壓,角度,選用適合的參數(shù),選得好,減薄速度快.離子減薄會(huì)產(chǎn)生熱,使樣品溫度升至100~300度,故用液氮冷卻樣品.樣品冷卻對(duì)不耐高溫的材料是非常重要的,否則材料會(huì)發(fā)生相變,樣品冷卻還可以減少污染和表面損傷.離子減薄是一種普適的減薄方法,可用于陶瓷,復(fù)合物,半導(dǎo)體,合金,界面樣品,甚至纖維和粉末樣品也可以離子減薄(把他們用樹(shù)脂拌合后,裝入φ3mm金屬管,切片后,再離子減薄).也可以聚集離子術(shù)(FIB)對(duì)區(qū)域做離子減薄,但FIB很貴.