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德國小型渦輪分子泵EQ-PV-HVS配有KF40真空波紋管和KF25真空計(jì),真空范圍從10-3mbar -10-7mbar,啟動(dòng)后短時(shí)間即可獲得較高的真空水平,且運(yùn)行噪音非常低。
進(jìn)口無油真空泵(226L/min)ACP15因?yàn)楸脙?nèi)無油,所以在真空狀態(tài)下無油霧產(chǎn)生,從而為實(shí)驗(yàn)提供了一個(gè)潔凈的低壓環(huán)境,特別適合與我司管式爐配合使用,組成低壓CVD系統(tǒng)。
單級(jí)旋片式真空泵TW-3A配有油污過濾器,可以過濾真空泵在工作時(shí)產(chǎn)生的油煙,不僅保護(hù)人體健康,而且避免對(duì)環(huán)境的污染。