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PCE-6V小型等離子清洗機(jī)

簡要描述:產(chǎn)品簡介:PCE-6V小型等離子清洗機(jī)集成了RF等離子體發(fā)生技術(shù)、計算機(jī)控制技術(shù)、軟件編程技術(shù),采用氣體作為清洗介質(zhì),有效地避免了因液體清洗介質(zhì)對被清洗物帶來的二次污染。工作時外接一臺真空泵,清洗腔內(nèi)的等離子體輕柔沖刷被清洗物的表面,可短時間內(nèi)*清洗掉有機(jī)污染物,清洗程度可達(dá)到分子級。樣品臺可選配加熱功能,可加負(fù)偏壓,用以實現(xiàn)對樣品的離子蝕刻。此外,其可在特定條件下

  • 產(chǎn)品型號:
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時間:2022-09-16
  • 訪  問  量:2899

詳細(xì)介紹

品牌其他品牌價格區(qū)間2萬-5萬
產(chǎn)地類別國產(chǎn)應(yīng)用領(lǐng)域石油,地礦,能源,電子,綜合

PCE-6V小型等離子清洗機(jī)集成了RF等離子體發(fā)生技術(shù)、計算機(jī)控制技術(shù)、軟件編程技術(shù),采用氣體作為清洗介質(zhì),有效地避免了因液體清洗介質(zhì)對被清洗物帶來的二次污染。工作時外接一臺真空泵,清洗腔內(nèi)的等離子體輕柔沖刷被清洗物的表面,可短時間內(nèi)*清洗掉有機(jī)污染物,清洗程度可達(dá)到分子級。樣品臺可選配加熱功能,可加負(fù)偏壓,用以實現(xiàn)對樣品的離子蝕刻。此外,其可在特定條件下根據(jù)需要改變某些材料表面的性能。設(shè)備體積小,操作簡單,應(yīng)用廣泛。1、采用氣體作為清洗介質(zhì),避免了因液體清洗介質(zhì)對被清洗物帶來的二次污染。
2、可短時間內(nèi)*清洗掉有機(jī)污染物。
3、清洗程度可達(dá)到分子級。
4、可在特定條件下根據(jù)需要改變某些材料表面的性能。
5、清洗過程中的輝光放電可對某些特殊用途的材料加強(qiáng)粘附性、相容性和浸潤性,并可消毒和殺菌。
6、樣品臺可選配加熱功能,可加負(fù)偏壓,用以實現(xiàn)離子蝕刻。
7、廣泛應(yīng)用于光學(xué)、光電子學(xué)、電子學(xué)、材料科學(xué)、生命科學(xué)、高分子科學(xué)、生物醫(yī)學(xué)、微觀流體學(xué)等領(lǐng)域。

產(chǎn)品名稱      
PCE-6V小型等離子清洗機(jī)
產(chǎn)品型號      
PCE-6V
主要參數(shù)      
1、電壓:AC220V  10A
2、消耗功率:<500W(包括真空泵)
3、RF電源:輸出功率100W,輸出頻率13.56MHz
4、腔體:?190mm×98mm
5、石英管:?180mm×55mm,壁厚7mm
6、內(nèi)腔:?165mm×55mm
7、清洗電極:?120mm
8、樣品臺:?150mm,有效尺寸?140mm
9、樣品臺與電極間距:15mm-50mm可調(diào)
10、抽氣管:?12mm
11、極限真空度:0.1Pa
12、工作真空度:60Pa-500Pa
13、氣路數(shù)量:2路(選裝)
14、流量控制器數(shù)量:1、2
15、流量顯示儀:2通道
16、氣路接口:?6mm
17、加熱樣品臺:?100mm,加熱樣品溫度200℃-500℃(選裝)
18、冷卻水壓力:0.2KPa-0.4KPa
19、工作環(huán)境:溫度5℃-35℃,濕度<80%(相對濕度)不結(jié)露,海拔高度0-2000m
產(chǎn)品規(guī)格

尺寸:245mm×235mm×460mm(不含真空泵)

重量:20kg(不含真空泵)

可選配件1、加熱樣品臺
2、流量控制器(量程10、50、100,可增加通道數(shù)≤2)



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