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簡要描述:產(chǎn)品簡介:PCE-6V小型等離子清洗機(jī)集成了RF等離子體發(fā)生技術(shù)、計算機(jī)控制技術(shù)、軟件編程技術(shù),采用氣體作為清洗介質(zhì),有效地避免了因液體清洗介質(zhì)對被清洗物帶來的二次污染。工作時外接一臺真空泵,清洗腔內(nèi)的等離子體輕柔沖刷被清洗物的表面,可短時間內(nèi)*清洗掉有機(jī)污染物,清洗程度可達(dá)到分子級。樣品臺可選配加熱功能,可加負(fù)偏壓,用以實現(xiàn)對樣品的離子蝕刻。此外,其可在特定條件下
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詳細(xì)介紹
品牌 | 其他品牌 | 價格區(qū)間 | 2萬-5萬 |
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產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 石油,地礦,能源,電子,綜合 |
PCE-6V小型等離子清洗機(jī)集成了RF等離子體發(fā)生技術(shù)、計算機(jī)控制技術(shù)、軟件編程技術(shù),采用氣體作為清洗介質(zhì),有效地避免了因液體清洗介質(zhì)對被清洗物帶來的二次污染。工作時外接一臺真空泵,清洗腔內(nèi)的等離子體輕柔沖刷被清洗物的表面,可短時間內(nèi)*清洗掉有機(jī)污染物,清洗程度可達(dá)到分子級。樣品臺可選配加熱功能,可加負(fù)偏壓,用以實現(xiàn)對樣品的離子蝕刻。此外,其可在特定條件下根據(jù)需要改變某些材料表面的性能。設(shè)備體積小,操作簡單,應(yīng)用廣泛。1、采用氣體作為清洗介質(zhì),避免了因液體清洗介質(zhì)對被清洗物帶來的二次污染。
2、可短時間內(nèi)*清洗掉有機(jī)污染物。
3、清洗程度可達(dá)到分子級。
4、可在特定條件下根據(jù)需要改變某些材料表面的性能。
5、清洗過程中的輝光放電可對某些特殊用途的材料加強(qiáng)粘附性、相容性和浸潤性,并可消毒和殺菌。
6、樣品臺可選配加熱功能,可加負(fù)偏壓,用以實現(xiàn)離子蝕刻。
7、廣泛應(yīng)用于光學(xué)、光電子學(xué)、電子學(xué)、材料科學(xué)、生命科學(xué)、高分子科學(xué)、生物醫(yī)學(xué)、微觀流體學(xué)等領(lǐng)域。
產(chǎn)品名稱 | PCE-6V小型等離子清洗機(jī) | |
產(chǎn)品型號 | PCE-6V | |
主要參數(shù) | 1、電壓:AC220V 10A 2、消耗功率:<500W(包括真空泵) 3、RF電源:輸出功率100W,輸出頻率13.56MHz 4、腔體:?190mm×98mm 5、石英管:?180mm×55mm,壁厚7mm 6、內(nèi)腔:?165mm×55mm 7、清洗電極:?120mm 8、樣品臺:?150mm,有效尺寸?140mm 9、樣品臺與電極間距:15mm-50mm可調(diào) 10、抽氣管:?12mm 11、極限真空度:0.1Pa 12、工作真空度:60Pa-500Pa 13、氣路數(shù)量:2路(選裝) 14、流量控制器數(shù)量:1、2 15、流量顯示儀:2通道 16、氣路接口:?6mm 17、加熱樣品臺:?100mm,加熱樣品溫度200℃-500℃(選裝) 18、冷卻水壓力:0.2KPa-0.4KPa 19、工作環(huán)境:溫度5℃-35℃,濕度<80%(相對濕度)不結(jié)露,海拔高度0-2000m | |
產(chǎn)品規(guī)格 | 尺寸:245mm×235mm×460mm(不含真空泵) 重量:20kg(不含真空泵) | |
可選配件 | 1、加熱樣品臺 2、流量控制器(量程10、50、100,可增加通道數(shù)≤2) |
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