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VTC-200P真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)/勻膠機(jī)

簡要描述:VTC-200P真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)適用于半導(dǎo)體、晶體、光盤、制版等表面涂覆工藝。本機(jī)可用于強(qiáng)酸、強(qiáng)堿性涂覆溶液的涂膜制備。VTC-200P真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)腔體不可抽真空,工作時(shí)利用真空盤吸附的方式將樣品固定在載樣盤上,該設(shè)備可儲(chǔ)存12組程序,每組程序包含6個(gè)運(yùn)行階段。不同運(yùn)行階段設(shè)備轉(zhuǎn)數(shù)不同,使設(shè)備緩慢提升速度*限速度,有利于薄膜材料在樣品表面均勻成膜,且不會(huì)過多浪費(fèi),節(jié)約材料。腔室的上蓋可以對樣品進(jìn)

  • 產(chǎn)品型號(hào):VTC-200P
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間:2019-05-17
  • 訪  問  量:1941

詳細(xì)介紹

價(jià)格區(qū)間1-5萬產(chǎn)地類別國產(chǎn)

 

產(chǎn)品名稱

VTC-200P真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)

產(chǎn)品型號(hào)

VTC-200P

安裝條件

本設(shè)備要求在海拔1000m以下,溫度25℃±15℃,濕度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水:設(shè)備配有進(jìn)出水口

2、電:AC220V 50Hz,必須有良好接地

3、氣:不需要

4、工作臺(tái):尺寸600mm×600mm×700mm,承重50kg以上

5、通風(fēng)裝置:需要

主要特點(diǎn)

1設(shè)有12組程序,每組包含6個(gè)運(yùn)行階段,每段增減速率設(shè)置范圍:100—2000rpm/s,每段時(shí)間范圍:0—60s。

2、真空吸附方式固定樣件,操作簡便。

3、吸盤真空度可以達(dá)到-0.08MPa。

4、使用定位工具可將樣件很容易放在中心位置,以減少偏心造成震動(dòng)飛片。

5、根據(jù)樣件規(guī)格可以配用不同的吸盤,更換方便簡單。

6、電機(jī)采用24V直流無刷電機(jī),無級(jí)調(diào)速,可靠性高,適應(yīng)性強(qiáng),維修與保養(yǎng)簡單,噪音低,震動(dòng)小,運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn),啟動(dòng)快速穩(wěn)定,加速后運(yùn)行平穩(wěn),可以保證涂厚度的*性和均勻性。

7、本機(jī)可置于手套箱內(nèi)使用,但控制部分與真空泵需置于箱外。

8、可在惰性氣體氣氛(如Ar、N2)下進(jìn)行涂層。

9、采用無油雙杠真空泵,體積小巧、結(jié)構(gòu)簡單、操作容易、維護(hù)方便、不會(huì)污染環(huán)境等優(yōu)點(diǎn)。

10、腔體通體采用聚丙烯材質(zhì),使用壽命更長,提高耐化學(xué)腐蝕性和優(yōu)異的抗應(yīng)力開裂性能。

11、全英文操作系統(tǒng)。

12、具有開蓋保護(hù)功能,當(dāng)涂膜過程中或涂膜結(jié)束時(shí)打開上蓋后機(jī)器立刻迅速減速直到停止

13、控制器采用單控制箱,液晶顯示數(shù)值,更直觀可靠。

 

技術(shù)參數(shù)

1、電源:220V   50HZ

2電機(jī)功率:350W/24V

3、轉(zhuǎn)速:500rpm-6000rpm之間可調(diào)

4.可儲(chǔ)存12組程序,每組程序包含6個(gè)運(yùn)行階段,

5、每段增減速率設(shè)置范圍:100 rpm s—2000 rpm /s,每段時(shí)間范圍:0-60s

6、吸盤規(guī)格φ100mm

7、本機(jī)可選配加熱功能:加溫范圍RT-100%

               加熱蓋,水槽及吸盤采用聚丙烯材質(zhì)

               溫度單獨(dú)控制,與主機(jī)程序控制無關(guān)聯(lián)

產(chǎn)品規(guī)格

尺寸:φ250mm×360mm;重量:20kg

標(biāo)準(zhǔn)配件

1

φ100mm真空吸盤

 

1個(gè)

2

O型膠圈

1個(gè)

3

滴液器

 

1個(gè)

4

滴液器支架

1個(gè)

5

中心定位器

 

1個(gè)

6

無油真空泵 

 

1臺(tái)

可選配件

進(jìn)口移液器

 

國產(chǎn)移液槍

 

其它尺寸的真空吸盤

 

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