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簡要描述:VTC-100PA真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)適用于半導(dǎo)體、晶體、光盤、制版等表面涂覆工藝。本機(jī)可用于強(qiáng)酸、強(qiáng)堿性涂覆溶液的涂膜制備。設(shè)備標(biāo)配兩個不同大小的真空吸盤,可根據(jù)樣品尺寸不同選擇不同的真空吸盤。工作時利用真空盤吸附的方式將樣品固定在載樣盤上,該設(shè)備可儲存12組程序,每組程序包含6個運(yùn)行階段。不同運(yùn)行階段設(shè)備轉(zhuǎn)數(shù)不同,使設(shè)備緩慢提升速度*限速度,有利于薄膜材料在樣品表面
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VTC-100PA真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)適用于半導(dǎo)體、晶體、光盤、制版等表面涂覆工藝。本機(jī)可用于強(qiáng)酸、強(qiáng)堿性涂覆溶液的涂膜制備。設(shè)備標(biāo)配兩個不同大小的真空吸盤,可根據(jù)樣品尺寸不同選擇不同的真空吸盤。VTC-100PA真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)工作時利用真空盤吸附的方式將樣品固定在載樣盤上,該設(shè)備可儲存12組程序,每組程序包含6個運(yùn)行階段。不同運(yùn)行階段設(shè)備轉(zhuǎn)數(shù)不同,使設(shè)備緩慢提升速度限速度,有利于薄膜材料在樣品表面均勻成膜,且不會過多浪費(fèi),節(jié)約材料。VTC-100PA真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)具有操作簡單、清理方便,體積小巧等優(yōu)點(diǎn),主要應(yīng)用于各大專院校、科研院所的實(shí)驗(yàn)室中進(jìn)行薄膜的生成過程。
1、真空吸附方式固定樣件,操作簡便。
2、真空度可以達(dá)到-0.08MPa。
3、使用定位工具可將樣件很容易地放在中心位置,以減少偏心而造成的震動或飛片。
4、根據(jù)樣件規(guī)格可以配用不同的吸盤,且更換方便簡單。
5、電機(jī)采用24V直流無刷電機(jī),可靠性高,適應(yīng)性強(qiáng),維修與保養(yǎng)簡單,噪音低,震動小,運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn),啟動快速穩(wěn)定,加速后運(yùn)行平穩(wěn),可以保證涂層厚度的一致性和均勻性。
6、采用無油雙杠真空泵,體積小巧、結(jié)構(gòu)簡單、操作容易、維護(hù)方便、不會污染環(huán)境等優(yōu)點(diǎn)。
7、腔體采用聚丙烯材質(zhì),使用壽命更長,提高耐化學(xué)腐蝕性和優(yōu)異的抗應(yīng)力開裂性能;機(jī)身采用鑄鋁結(jié)構(gòu),結(jié)實(shí)耐用且質(zhì)輕。
8、可在惰性氣體氣氛(如Ar、N2)下進(jìn)行涂層。
9、全英文操作系統(tǒng)。
10、具有開蓋保護(hù)功能,當(dāng)涂膜過程中或涂膜結(jié)束時打開上蓋后機(jī)器立刻迅速減速直到停止。
11、控制界面采用液晶顯示屏+單板機(jī)控制系統(tǒng),數(shù)值顯示更直觀可靠。
產(chǎn)品名稱 | VTC-100PA真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī) | |
產(chǎn)品型號 | VTC-100PA | |
安裝條件 | 1、溫濕度:10-85%RH (at 25℃ 無凝露)溫度: 0-45℃。 2、設(shè)備周圍無強(qiáng)烈震源和腐蝕氣體。 3、水:設(shè)備配有排污下水口 4、電:單相:AC220V 50Hz 國標(biāo)三極插座 10A 必須有良好接地 5、氣:真空負(fù)壓(真空泵) 抽氣流量不小于 70L/M(設(shè)備可通保護(hù)惰性氣體;如:Ar N2) 6、工作臺:建議 800X600X700mm承重 50KG 以上(固體水泥臺最佳) 7、通風(fēng)裝置:無特殊要求 | |
主要參數(shù) | 1、供電接口:AC220 50Hz 10A 2、總功率:≤150W(不含外接真空泵) 3、涂膜腔體(材質(zhì)):聚丙烯 4、載樣盤(吸盤):聚丙烯吸盤Φ19mm 、Φ60mm 各一個 5、運(yùn)行方式:可儲存 12 組程序;每組程序包含 6 個運(yùn)行階段 6、涂膜轉(zhuǎn)速:500rpm-10000rpm 有效 7、增減速率:每段增減速率設(shè)置范圍: 100 rpm —2000 rpm 8、涂膜時間:每段時間范圍:0-60s 9、轉(zhuǎn)速穩(wěn)定性:±1% 10、控制方式:PCB 單片機(jī)、 按鍵控制 LMC 液晶顯示屏 11、加熱方式:無此功能 | |
產(chǎn)品規(guī)格 | 尺寸:450mm×340mm×280mm; 重量:18kg |
序號 | 名稱 | 數(shù)量 | 圖片鏈接 |
1 | 真空吸盤(含O型圈) (?19mm和?60mm) | 2個 | |
2 | 中心定位器(含4個定位柱) | 1個 | |
3 | 滴膠注射器(20ml) | 1個 | |
4 | 注射器支架 | 1個 | |
5 | 無油真空泵 | 1個 | |
6 | 橡膠管(含卡箍) | 1根 |
序號 | 名稱 | 功能類別 | 圖片鏈接 |
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