產(chǎn)品中心
當前位置:首頁 > 產(chǎn)品中心 > 管式爐 > 1000℃-1100℃管式爐 > GSL-1100X-8.5-SR-III1100℃三溫區(qū)帶滑軌8.5″管式爐GSL-1100X-8.5-SR-III
簡要描述:1100℃三溫區(qū)帶滑軌8.5″管式爐GSL-1100X-8.5-SR-III是三溫區(qū)滑軌真空管式爐,可通入混合氣體進行低壓力化學氣相沉積處理。本機可在不同氣氛下,在Z大6″的基片上生長多種薄膜。
產(chǎn)品分類CLASSIFICATION
相關文章ARTICLES
詳細介紹
產(chǎn)品型號 | 1100℃三溫區(qū)帶滑軌8.5″管式爐GSL-1100X-8.5-SR -III | ||
主要特點 | 1、爐體采用高純度氧化鋁多晶纖維保溫材料,環(huán)保節(jié)能。內爐膛表面涂有美國進口氧化鋁涂層,可以提高設備 的加熱效率,同時也可以延長儀器的使用壽命。 2、滑軌式法蘭結構,方便取放樣品。 3、設有雙K型測溫熱電偶和一個額外的溫度校準檢測系統(tǒng)。 4、三個加熱區(qū)域實現(xiàn)更長的溫度區(qū)和一個特定的溫度梯度。 5、采用三個PID控制器 ,通過可控硅來進行溫度控制,可以設置30段升降溫程序。 6、右端法蘭裝載石英管堵,用以阻止熱輻射;左端法蘭上設有4片磨砂石英擋片,用于阻止熱輻射。 7、已通過CE認證。 | ||
技術參數(shù) | 1、電源:單相220V 8KW 2、石英管:外徑Φ216mm,內徑Φ208mm,長1300mm 3、加熱元件:Ni-Cr-Al電阻絲 4、加熱區(qū)域:長900mm 5、溫區(qū):3個,各300mm長 6、恒溫區(qū)域:500mm(三個溫區(qū)設置一樣的溫度) 7、工作溫度:zui高1100℃,連續(xù)工作400℃-1000℃ 8、zui大升降溫速率:10℃/min 9、控溫精度:±1℃ 10、真空度:10-2torr(機械泵),10-5torr(分子泵) 11、熱偶檢測口:1個 12、真空接口:KF-25 13、進氣接口:5路,精密不銹鋼針閥密封 14、爐體:1000mm×700mm×1060mm 15、滑軌:600mm | ||
產(chǎn)品規(guī)格 | 尺寸:1780mm×1780mm×1650mm;重量:354kg | ||
標準配件 | 1 | 石英管堵 | 1個 |
2 | KF-25真空擋板閥 | 1個 | |
3 | KF-40不銹鋼波紋管 | 1根 | |
可選配件 | 1、軟件接口模塊和PC機 2、K型熱電偶(Φ6.35mm×915mm,用于對爐膛溫度校準) 3、冷水機 |
產(chǎn)品咨詢