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1100℃三溫區(qū)帶滑軌8.5″管式爐GSL-1100X-8.5-SR-III

簡要描述:1100℃三溫區(qū)帶滑軌8.5″管式爐GSL-1100X-8.5-SR-III是三溫區(qū)滑軌真空管式爐,可通入混合氣體進行低壓力化學氣相沉積處理。本機可在不同氣氛下,在Z大6″的基片上生長多種薄膜。

  • 產(chǎn)品型號:GSL-1100X-8.5-SR-III
  • 廠商性質:生產(chǎn)廠家
  • 更新時間:2016-04-07
  • 訪  問  量:900

詳細介紹

 

產(chǎn)品型號

  1100℃三溫區(qū)帶滑軌8.5管式爐GSL-1100X-8.5-SR  -III

主要特點

  1、爐體采用高純度氧化鋁多晶纖維保溫材料,環(huán)保節(jié)能。內爐膛表面涂有美國進口氧化鋁涂層,可以提高設備     的加熱效率,同時也可以延長儀器的使用壽命。

  2、滑軌式法蘭結構,方便取放樣品。

  3、設有K型測溫熱電偶和一個額外的溫度校準檢測系統(tǒng)。

  4、三個加熱區(qū)域實現(xiàn)更長的溫度區(qū)和一個特定的溫度梯度

  5、采用三個PID控制器 ,通過可控硅來進行溫度控制,可以設置30段升降溫程序。

  6、右端法蘭裝載石英管堵,用以阻止熱輻射;左端法蘭上設有4片磨砂石英擋片,用于阻止熱輻射。

  7、已通CE認證。

技術參數(shù)

  1、電源:單相220V  8KW

  2、石英管:外徑Φ216mm,內徑Φ208mm,長1300mm

  3、加熱元件:Ni-Cr-Al電阻絲

  4、加熱區(qū)域:長900mm

  5、溫區(qū):3個,各300mm

  6、恒溫區(qū)域500mm(三個溫區(qū)設置一樣的溫度)

  7、工作溫度:zui高1100,連續(xù)工作400-1000

  8、zui大升降溫速率:10/min

  9、控溫精度:±1

  10、真空度:10-2torr(機械泵),10-5torr(分子泵)

  11、熱偶檢測口:1

  12、真空接口:KF-25

  13、進氣接口:5路,精密不銹鋼針閥密封

  14、爐體:1000mm×700mm×1060mm

  15、滑軌:600mm

產(chǎn)品規(guī)格

  尺寸:1780mm×1780mm×1650mm;重量:354kg

標準配件

1

  石英管堵

1

2

  KF-25真空擋板閥

1

3

  KF-40不銹鋼波紋管

1

可選配件

  1、軟件接口模塊和PC

  2、K型熱電偶(Φ6.35mm×915mm,用于對爐膛溫度校準)

  3冷水機

 

  

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