產(chǎn)品型號

  1100℃雙管三溫區(qū)管式爐（石墨烯生長）GSL-1100X-III-D11-8

主要特點(diǎn)

  1、雙層殼體，配有風(fēng)冷系統(tǒng)，殼體溫度<70℃。內(nèi)爐膛采用高純度氧化鋁材料，可以zui大程度的減少能量的損失

        。

  2、采用不銹鋼真空密封法蘭，使用硅膠密封圈進(jìn)行密封。

  3、采用三個PID控制器 ，可以設(shè)置30段升降溫程序。

  4、加熱前需將石英管堵放入爐管，防止熱量以熱輻射的形式散失。

  5、使用內(nèi)管進(jìn)行薄膜生長可放置zui大8″的基片。

  6、已通過CE認(rèn)證。

技術(shù)參數(shù)

  1、電源：單相AC 220V  50/60Hz   8KW（需50A的空氣開關(guān)）

  2、石英管：外管外徑Φ279mm，內(nèi)徑Φ269mm，長1300mm，兩端打開，可連接法蘭

                        內(nèi)管外徑Φ216mm，內(nèi)徑Φ206mm，長750mm，一端封閉，一端連接氣體出入口

  3、加熱元件：NiCrAl電阻絲

  4、加熱區(qū)域：長900mm

  5、溫區(qū)：3個，各300mm長

  6、恒溫區(qū)域：500mm（三個溫區(qū)設(shè)置一樣的溫度）

  7、工作溫度：zui高1100℃（<1h），連續(xù)工作200℃-1000℃

  8、zui大升降溫速率：10℃/min

  9、熱電偶：3個，K型

  10、控溫精度：±1℃

  11、真空度：10^-2torr（機(jī)械泵）

  12、法蘭：左側(cè)法蘭包括化學(xué)氣相淀積進(jìn)氣口和冷卻氣體進(jìn)出口，右側(cè)法蘭設(shè)有KF-40真空接口和真空閥門

產(chǎn)品規(guī)格

  尺寸：不包含真空法蘭1300mm×623mm×940mm，包含真空法蘭1670mm×623mm×940mm

  重量：200kg

可選配件

  1、石英管堵

  2、PC控溫軟件

  3、KF-40轉(zhuǎn)KF-25接頭