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簡(jiǎn)要描述:精密液體氣相發(fā)生器是針對(duì)實(shí)驗(yàn)室CVD實(shí)驗(yàn)中導(dǎo)入液體的系統(tǒng),其液體流量是通過(guò)數(shù)字液體泵來(lái)控制,Z大流量為80ml/min,精確度為0.005ml。液體被蠕動(dòng)泵導(dǎo)入到混氣系統(tǒng)后,被系統(tǒng)里的加熱裝置加熱成蒸汽,然后隨導(dǎo)入的氣體被帶入到爐管中。本機(jī)能夠?qū)С龆喾N液體,如ETOH、SnCl4、 TiCl4R、SiHCl3和Zn(C2H5)2,以及多種有機(jī)物混合。對(duì)于研究用CVD方法生長(zhǎng)納米線和薄膜是的研
產(chǎn)品分類(lèi)CLASSIFICATION
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詳細(xì)介紹
產(chǎn)品型號(hào) | 精密液體氣相發(fā)生器 |
主要特點(diǎn) | 1、流體和氣體在一個(gè)316不銹鋼罐中加熱。 2、采用30段程序化控溫。 3、氣體流速通過(guò)浮子流量計(jì)控制。 4、配有壓力表,可測(cè)出液氣混合罐中的氣體壓強(qiáng)。 5、配有兩個(gè)不銹鋼針閥,以控制氣體進(jìn)出。 6、可與本司所有管式爐和CVD系統(tǒng)相連接。 7、已通過(guò)CE認(rèn)證。 |
技術(shù)參數(shù) | 1、電源:?jiǎn)蜗?/span>AC208V-240V 50Hz/60Hz 2、功率:1000W 3、蠕動(dòng)泵:精確度±0.02%FS,流量0-80ml/min(可調(diào)) 4、zui高工作溫度:300℃ 5、控溫精度:±1℃ 6、浮子流量計(jì):0-2000ml/min(可調(diào)) 7、出氣口:外徑1/4″ |
產(chǎn)品規(guī)格 | 尺寸:350mm×335mm×300mm;重量:5kg |
可選配件 | 加熱帶(纏繞在外接的管道上,以保證液體蒸汽在傳輸過(guò)程中不會(huì)液化。) |
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