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精密液體氣相發(fā)生器

簡(jiǎn)要描述:精密液體氣相發(fā)生器是針對(duì)實(shí)驗(yàn)室CVD實(shí)驗(yàn)中導(dǎo)入液體的系統(tǒng),其液體流量是通過(guò)數(shù)字液體泵來(lái)控制,Z大流量為80ml/min,精確度為0.005ml。液體被蠕動(dòng)泵導(dǎo)入到混氣系統(tǒng)后,被系統(tǒng)里的加熱裝置加熱成蒸汽,然后隨導(dǎo)入的氣體被帶入到爐管中。本機(jī)能夠?qū)С龆喾N液體,如ETOH、SnCl4、 TiCl4R、SiHCl3和Zn(C2H5)2,以及多種有機(jī)物混合。對(duì)于研究用CVD方法生長(zhǎng)納米線和薄膜是的研

  • 產(chǎn)品型號(hào):
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間:2016-04-12
  • 訪  問(wèn)  量:935

詳細(xì)介紹

 

產(chǎn)品型號(hào)

 精密液體氣相發(fā)生器

主要特點(diǎn)

   1、流體和氣體在一個(gè)316不銹鋼罐中加熱。

   2、采用30段程序化控溫。

   3、氣體流速通過(guò)浮子流量計(jì)控制。

   4、配有壓力表,可測(cè)出液氣混合罐中的氣體壓強(qiáng)。

   5配有兩個(gè)不銹鋼針閥,以控制氣體進(jìn)出。

   6、可與本司所有管式爐和CVD系統(tǒng)相連接。

   7、已通過(guò)CE認(rèn)證。

技術(shù)參數(shù)

   1、電源:?jiǎn)蜗?/span>AC208V-240V  50Hz/60Hz

   2、功率:1000W

   3、蠕動(dòng)泵:精確度±0.02%FS,流量0-80ml/min(可調(diào))

   4zui高工作溫度:300

   5、控溫精度:±1

   6、浮子流量計(jì):0-2000ml/min(可調(diào))

   7、出氣口:外徑1/4

產(chǎn)品規(guī)格

 尺寸:350mm×335mm×300mm;重量:5kg

可選配件

  加熱帶(纏繞在外接的管道上,以保證液體蒸汽在傳輸過(guò)程中不會(huì)液化。)

 

  

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