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500ºC真空熱壓機VHP-5T-4

簡要描述:500?C真空熱壓機VHP-5T-4是一款電動真空平板式真空熱壓機,專門用于晶片的焊接和薄膜轉移,其可處理Z大樣品尺寸為100mm×100mm,Z高工作溫度為500℃,在此溫度下可對樣品實加的Z大壓力為6T(七月份更改為Z大壓力40T)。

  • 產品型號:
  • 廠商性質:生產廠家
  • 更新時間:2016-03-22
  • 訪  問  量:1081

詳細介紹

 

產品型號

  500ºC真空熱壓機VHP-5T-4

主要特點

  1、加熱平臺中間嵌有1000W的加熱管,可達到快速加熱的效果;加熱平臺頂端設有水冷管(當工作

        溫度高于200℃時請注入冷卻水(>15L/min)),以達到快速冷卻的效果。

  2、采用兩個精密的溫控器獨立控制兩塊加熱平臺,且可設置30段升降溫程序,采用PID方式進行溫

        度調節(jié),并帶有過熱和斷偶保護功能。

  3、使用控溫軟件和PC接口可將溫度程序和溫度曲線導入計算機。

  4、數字壓力顯示器安裝在真空腔體外,可設置其壓力,當壓力達到設置值時電機將自動停止。

  5、液壓裝置和加熱臺都置于真空腔體內,且腔體采用304不銹鋼制作,并焊有加強筋(防止真空狀態(tài)

        下腔體變形)。

  6、真空腔體前端設有觀察窗。

  7、一個高靈敏度的真空計安裝于真空腔體上,測量內部的真空度。

技術參數

  1、電源:單相AC208V-240V 50Hz/60Hz

  2、zui大功率:2500W

  3、加熱平臺:采用高溫合金鋼制成,zui高可承受溫度500℃,尺寸135mm×135mm,兩平臺間可移動

                            距離15mm

  4、液壓泵:40T的電動液壓機與真空腔體相連接,壓力控制精度為±0.01MPa0.1kg/cm2),自動壓

                        力控制并帶有數顯

  5、zui高工作溫度:500

  6、升溫速率:<10/min

  7、控溫精度:±1

  8、真空度:10E-3torr

  9、內部腔體尺寸:372mm×420mm×480mm

  10、觀察窗口:Φ150mm

產品規(guī)格

  尺寸:600mm×500mm×400mm

 

       

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