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25KW程序控溫感應(yīng)熔煉爐SP-25TC

簡(jiǎn)要描述:25KW程序控溫感應(yīng)熔煉爐SP-25TC是一款小型程控感應(yīng)熔煉系統(tǒng),配備有直徑Φ100mm的石英管、不銹鋼法蘭、石墨坩堝、真空泵、水冷機(jī)和移動(dòng)架,Z大功率為25KW,是生長(zhǎng)晶體和合金熔煉(熔點(diǎn)< 1700ºC)的理想選擇。

  • 產(chǎn)品型號(hào):SP-25TC
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間:2016-03-22
  • 訪  問  量:1575

詳細(xì)介紹

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產(chǎn)品型號(hào)

    25KW程序控溫感應(yīng)熔煉爐SP-25TC

主要特點(diǎn)

    1配有可耐1800℃的高純氧化鋁纖維制作的耐火磚,用于支撐石墨坩堝,并防止熱量輻射。

    2設(shè)有自動(dòng)水壓、過熱、功率過高保護(hù)系統(tǒng)。

    3、溫控器采用PID方式控溫,可設(shè)置30段升降溫程序,設(shè)有過熱和斷偶保護(hù)功能。

    4、配有防腐型真空計(jì),當(dāng)氣壓在10mbar以上時(shí),不需因測(cè)量氣體種類的不同進(jìn)行系數(shù)轉(zhuǎn)換,量程可

           到3.8×10E-5 torr。

    5、配有雙旋直連式機(jī)械泵。

技術(shù)參數(shù)

 高頻感應(yīng)加熱爐

    1、工作電壓:三相AC 380 V  50Hz(需60 A空氣開關(guān))

    2、zui大輸入功率:15KW

    3、振蕩頻率:30KHz-80 KHz

    4、循環(huán)比:80%

    5、感應(yīng)線圈:外徑Φ120mm,內(nèi)徑Φ110 mm,高50 mm(可微調(diào))

 溫度控制器

    1、工作電壓:AC208V-240V  單相

    2、控溫精度:±5

    3溫度:連續(xù)工作溫度1000-2000℃,zui高工作溫度1700℃(工作時(shí)間<30min

    4、zui大升溫速率:1/s0-1000℃)、0.5/s1200-1700℃)

 石墨坩堝(易耗件)

    1高純石墨坩堝:外徑Φ40mm,內(nèi)徑Φ37.1mm,高100.5mm(可選購SiC涂層,涂在坩堝內(nèi)部,以

                                     提高金屬熔煉時(shí)的潔凈度)

    2、zui大容量:樣品所占容積應(yīng)為石墨坩堝容積的1/2

                             

 石英管和密封法蘭

    1、石英管:外徑Φ100mm,內(nèi)徑Φ92mm,長(zhǎng)355mm

    2、部法蘭:不銹鋼法蘭,裝有不銹鋼針閥,設(shè)有1個(gè)鎧裝接口(可插入熱電偶至石英管內(nèi)部,更

                              準(zhǔn)確地測(cè)量樣品溫度)

    3、底部法蘭:設(shè)有不銹鋼針閥和KF25接口(可通過波紋管與真空泵相連接)

 水冷機(jī)

    1、溫度:5-30

    2、水流速:16L/min

    3、水箱容積:12L,采用不銹鋼制作

  (建議使用特定的冷卻劑液以達(dá)到*的冷卻效果)

 真空泵

    1、工作電壓:AC208V-240V單相

    2、抽氣速率:120L/min

    3、極限真空度:10-2torr

  (為了獲得更高的真空度以達(dá)到更好的熔煉效果,可選購渦旋分子泵,真空度可達(dá)10E-5torr

注意事項(xiàng)

 操作前,必須仔細(xì)閱讀說明書,且操作人員需帶防護(hù)面罩。使用時(shí),熔煉必須在0.02Mpa 的流動(dòng)

   氬氣下進(jìn)行,流量小于200ml/min,需始終保持石英管內(nèi)的氣壓<0.02MPa。升溫過程中需時(shí)刻注意石

   英管內(nèi)的氣壓,若氣壓超過安全值,會(huì)引起石英管開裂、法蘭蹦出,甚至造成人身傷害。

其他事項(xiàng)

 本機(jī)可改為RTP(快速熱處理爐)和混合物物理化學(xué)氣相沉積(HPCVD)系統(tǒng)。請(qǐng)參看下圖。

 

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