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VTC-200PV真空旋轉涂膜機

簡要描述:VTC-200PV真空旋轉涂膜機適用于半導體、晶體、光盤、制版等表面涂覆工藝。本機可用于強酸、強堿性涂覆溶液的涂膜制備。本機可以對涂膜機腔室進行抽真空,使樣品在*真空的狀態(tài)下進行涂膜,適用于在空氣中易氧化變質(zhì)的薄膜材料的使用。工作時利用真空盤吸附的方式將樣品固定在載樣盤上,該設備可儲存12組程序,每組程序包含6個運行階段。不同運行階段設備轉數(shù)不同,使設備緩慢提升速

  • 產(chǎn)品型號:
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時間:2022-09-16
  • 訪  問  量:1074

詳細介紹

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產(chǎn)品簡介:VTC-200PV真空旋轉涂膜機適用于半導體、晶體、光盤、制版等表面涂覆工藝。本機可用于強酸、強堿性涂覆溶液的涂膜制備。本機可以對涂膜機腔室進行抽真空,使樣品在*真空的狀態(tài)下進行涂膜,適用于在空氣中易氧化變質(zhì)的薄膜材料的使用。工作時利用真空盤吸附的方式將樣品固定在載樣盤上,該設備可儲存12組程序,每組程序包含6個運行階段。不同運行階段設備轉數(shù)不同,使設備緩慢提升速度限速度,有利于薄膜材料在樣品表面均勻成膜,且不會過多浪費,節(jié)約材料。具有操作簡單、清理方便,體積小巧等優(yōu)點,主要應用于各大專院校、科研院所的實驗室中進行薄膜的生成過程。

產(chǎn)品名稱

VTC-200PV真空旋轉涂膜機

產(chǎn)品型號

VTC-200PV

安裝條件

本設備要求在海拔1000m以下,溫度25℃±15℃,濕度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水:設備配有進出水口

2、電:AC220V 50Hz,必須有良好接地

3、氣:不需要

4、工作臺:尺寸600mm×600mm×700mm,承重50kg以上

5、通風裝置:需要

主要特點

1、設有12組程序,每組包含6個運行階段,每段增減速率設置范圍:100—2000rpm/s,每段時間范圍:0—60s。

2、樣品可采用真空吸附的方式進行固定,也可采用粘結或夾持的方式進行固定,操作簡便。

3、吸盤真空度可以達到-0.08MPa。

4、使用定位工具可將樣件很容易地放在中心位置,以減少偏心而造成的震動或飛片。

5、根據(jù)樣件規(guī)格可以配用不同的吸盤,且更換方便簡單。

6、電機采用直流無刷電機,無級調(diào)速,可靠性高,適應性強,維修與保養(yǎng)簡單,噪音低,震動小,運轉平穩(wěn),啟動快速穩(wěn)定,加速后運行平穩(wěn),可以保證涂層厚度的一致性和均勻性。

7、當用真空吸附方式固定樣品時采用無油雙杠真空泵,體積小巧、結構簡單、操作容易、維護方便、不會污染環(huán)境等優(yōu)點。

8、可在惰性氣體氣氛下進行涂層

9、可在真空狀態(tài)下進行涂層,此時需要用粘接基片或夾持基片的方式對被涂基片進行固定。

10、腔體通體采用聚丙烯材質(zhì),使用壽命更長,提高耐化學腐蝕性和優(yōu)異的抗應力開裂性能。

11、全英文操作系統(tǒng)。

12、具有開蓋保護功能,當涂膜過程中或涂膜結束時打開上蓋后機器立刻迅速減速直到停止.

13、控制器采用控制箱,液晶顯示數(shù)值,更直觀可靠。

技術參數(shù)

1、功率:350W/24V

2、轉速:500rpm-6000rpm

3、時間:1s-60s

4、腔體真空度可達1Torr(VRD-8機械泵連續(xù)工作)

產(chǎn)品規(guī)格

尺寸:?250mm×290mm;重量:25kg

標準配件

1

真空吸盤

1個

2

夾持吸盤

1個

3

無油真空泵

1臺

可選配件

VRD-16機械泵

移液器

其它尺寸的真空吸盤

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