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簡要描述:VTC-100PA-UV型紫外光旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)、勻膠機(jī)、甩膠機(jī)、旋涂儀、spin coater適用于半導(dǎo)體工藝、晶體、光盤、制版及表面涂覆等工藝。該機(jī)腔體采用聚丙烯材質(zhì),耐腐蝕且使用壽命長,可用于強(qiáng)酸、強(qiáng)堿溶液的涂覆。本機(jī)上蓋具有紫外燈光照射的功能,尤其適用于對紫外光敏感的膠體,可使涂覆后的膠體迅速固化;此外紫外燈還具有聚合作用,可以把單體聚合成聚合物膜。上蓋中心位置為注液孔,注液孔配有膠塞
產(chǎn)品分類CLASSIFICATION
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詳細(xì)介紹
品牌 | 其他品牌 | 價(jià)格區(qū)間 | 面議 |
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產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 石油,地礦,建材,電子,綜合 |
VTC-100PA-UV型紫外光旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)、勻膠機(jī)、甩膠機(jī)、旋涂儀、spin coater適用于半導(dǎo)體工藝、晶體、光盤、制版及表面涂覆等工藝。該機(jī)腔體采用聚丙烯材質(zhì),耐腐蝕且使用壽命長,可用于強(qiáng)酸、強(qiáng)堿溶液的涂覆。本機(jī)上蓋具有紫外燈光照射的功能,尤其適用于對紫外光敏感的膠體,可使涂覆后的膠體迅速固化;此外紫外燈還具有聚合作用,可以把單體聚合成聚合物膜。上蓋中心位置為注液孔,注液孔配有膠塞,當(dāng)腔體需要密閉的環(huán)境時應(yīng)將膠塞堵好。腔體帶有進(jìn)氣孔,可在勻膠過程中對腔體通保護(hù)氣。樣件采用真空吸附方式進(jìn)行固定,操作簡單,使樣件取放自如。配用專用定心工具可使樣件很容易放在吸盤中心位置,以減少偏心帶來的震動,避免造成飛片。根據(jù)樣件的大小可以選擇不同規(guī)格的吸盤,吸盤更換簡單方便。本機(jī)使用精密直流無刷電機(jī),啟動快、速度穩(wěn)定,可以保證涂層厚度的一致性和均勻性。
1、采用真空吸盤固定樣件,樣件固定牢固且取放簡單方便;真空吸盤大小可根據(jù)需要進(jìn)行定制。
2、該機(jī)上蓋具有紫外燈光照射的功能,紫外光的強(qiáng)度可以在一定范圍內(nèi)進(jìn)行調(diào)整。
3、本機(jī)上蓋中心位置為注液孔,注液孔配有注液孔塞,當(dāng)腔體需要密閉環(huán)境時可使用該孔塞將孔密閉。
4、該機(jī)帶有保護(hù)氣接孔,可對腔體通保護(hù)氣。
5、電機(jī)部分、紫外燈光控制部分分別使用獨(dú)立的電源進(jìn)行控制。電機(jī)調(diào)速系統(tǒng)采用單板機(jī)+液晶顯示屏進(jìn)行控制,數(shù)值顯示更直觀可靠;紫光燈采用抗干擾性強(qiáng)的PLC控制器進(jìn)行控制。
6、本機(jī)涂層速度為500-1000RPM,可儲存12組程序,每組程序包含6個運(yùn)行階段,每段運(yùn)行參數(shù)可獨(dú)立設(shè)置,可使設(shè)備緩慢提升速度限速度,有利于薄膜材料在樣品表面均勻成膜,且不會過多浪費(fèi),節(jié)約材料。
7、紫光燈真空旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)啟動快速、轉(zhuǎn)數(shù)穩(wěn)定,可以保證膜層厚度的均勻性與一致性。
8、在安裝結(jié)構(gòu)上,采取了減震措施,降低運(yùn)轉(zhuǎn)時的噪音。
9、腔體采用聚丙烯材質(zhì),使用壽命更長,提高耐化學(xué)腐蝕性和優(yōu)異的抗應(yīng)力開裂性能;機(jī)身采用鑄鋁結(jié)構(gòu),結(jié)實(shí)耐用且質(zhì)輕。
產(chǎn)品名稱 | VTC-100PA-UV型紫外光旋轉(zhuǎn)涂膜機(jī)勻膠機(jī) | |
產(chǎn)品型號 | VTC-100PA-UV | |
主要參數(shù) | 1、電源:AC220/110V 50/60Hz 2、電機(jī)功率: 350W/24V 3、速度范圍:500-10000rpm 4、可儲存1組程序,程序包含2個運(yùn)行階段,每段增減速率設(shè)置范圍: 100 rpm s—2000 rpm /s,每段時間范圍:0-600s 5、吸盤規(guī)格:φ19mm φ60mm 6、保護(hù)氣進(jìn)氣孔規(guī)格:φ8㎜ 7、真空氣孔規(guī)格:φ8㎜ 8、紫光燈功率范圍:8-30W 9、紫光燈時間設(shè)置范圍:1-800S | |
產(chǎn)品規(guī)格 | 外形尺寸:450×280×340mm 重量:20Kg | |
序號 | 名稱 | 數(shù)量 | 圖片鏈接 |
1 | 真空吸盤(φ19 mm和φ60 mm) | 2件 | |
2 | 中心定位器 | 1個 | |
3 | 無油真空泵 | 1臺 |
序號 | 名稱 | 功能類別 | 圖片鏈接 |
1 | 其它尺寸的真空吸盤 | (可選) | |
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3 | 進(jìn)口移液槍 | (可選) |
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