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UNIPOL-1203化學(xué)機械磨拋機

簡要描述:UNIPOL-1203化學(xué)機械磨拋機,化學(xué)拋光機適用于CMP平坦化和平滑化工藝技術(shù), 整機研磨部分采用防腐材料,耐化學(xué)腐蝕,配置自動滴料器和精密磨拋控制儀,全自動觸摸屏面板,從加工性能和速度上同時滿足晶圓等面型加工的需求。

  • 產(chǎn)品型號:
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時間:2024-05-08
  • 訪  問  量:3404

詳細介紹

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產(chǎn)地類別國產(chǎn)應(yīng)用領(lǐng)域地礦,冶金,航天

UNIPOL-1203化學(xué)機械磨拋機,適用于CMP平坦化和平滑化工藝技術(shù), 整機研磨部分采用防腐材料,耐化學(xué)腐蝕,配置自動滴料器和精密磨拋控制儀,全自動觸摸屏面板,從加工性能和速度上同時滿足晶圓等面型加工的需求。 1、超平不銹鋼拋光盤(平面度為每25mm×25mm小于0.0025mm)。
2、超精旋轉(zhuǎn)軸(托盤端跳小于0.01mm)。
3、設(shè)有兩個加工工位,可分別進行控制。
4、配有全自動控制觸摸屏面板,可設(shè)置主軸轉(zhuǎn)速、擺臂速度、磨拋時間。
5、配置自動滴料器,流量速率可視化調(diào)整,自動研磨和拋光。
6、配置GPC-100A精密磨拋控制儀,可調(diào)節(jié)壓力,修整面型,使磨拋更加方便快捷。
7、研磨部分采用防腐材料,耐化學(xué)腐蝕。

產(chǎn)品名稱       UNIPOL-1203化學(xué)機械磨拋機
產(chǎn)品型號       UNIPOL-1203
安裝條件       本設(shè)備要求在海拔1000m以下,溫度25℃±15℃,濕度55%Rh±10%Rh下使用。
1、水:設(shè)備配有上水口及下水口,需自行連接自來水及排水
2、電:AC220V 50Hz,必須有良好接地
3、氣:無
4、工作臺:尺寸800mm×600mm×700mm,承重200kg以上
5、通風(fēng)裝置:不需要
主要參數(shù)      主機部分
1、電源:220V
2、功率:450W
3、磨拋盤轉(zhuǎn)速:10-240rpm
4、磨拋工位:2個
5、擺臂調(diào)節(jié)檔位:1-15檔
6、托盤端跳:0.008/250mm
7、不銹鋼磨拋盤:φ300mm
8、載樣盤:φ105mm
9、修盤環(huán):φ127.5mm
GPC-100A精密磨拋控制儀
1、載樣盤直徑:Ø103mm
2、載樣盤軸向行程:12mm
3、數(shù)顯表精度:0.001mm
4、載樣盤可調(diào)加載壓力: 0.1kg-2.1kg
5、壓力確認儀有效量程:1g-5000g
6、樣品裝卡方式:真空吸附
7、承載樣件尺寸:直徑≤103mm、 厚度≤12mm
8、尺寸:外徑146mm,高266mm
自動滴料器
SKZD-2滾筒滴料器
1、容積:1.5L
2、流量:0-35ml/min
3、尺寸:170×290×350mm;
    重量:3kg
SKZD-4自動滴料器
1、加液泵:4個
2、料液瓶:600ml/瓶
3、計時范圍:1-999min
4、流量:0.1ml/min-10ml/min
5、尺寸:230×370×450mm;
    重量:10kg
產(chǎn)品規(guī)格      

1、外形尺寸:550mm×700mm×420mm
2、重量:74Kg

序號 名稱 數(shù)量 圖片鏈接
1 鑄鐵磨盤(Ф300mm花盤) 1個
2 不銹鋼磨盤(Ф300mm平盤) 1個
3 載物盤 1個
4
修盤環(huán)
 
1個
5

拋光墊

(磨砂革、合成革、聚氨酯)

各1片
6 磁力片(帶背膠) 2片
7 研拋底片 2片
8

剛玉研磨微粉

 
0.5kg
9 石蠟棒 4根
10
二氧化硅懸浮拋光液 2040 W0.05
 
1瓶
 

序號 名稱 功能類別 圖片鏈接
1 YJXZ-12攪拌循環(huán)泵 (可選)
2 精密測厚儀 (可選)
3 陶瓷研磨盤 (可選)
4 玻璃研磨盤 (可選)
5 磁性樹脂金剛石研磨片 (可選)

 

 

 

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