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PCE-6小型等離子清洗機

簡要描述:PCE-6小型等離子清洗機的等離子腔體為 Ø160mm×190mm的石英腔體,采用的射頻電源功率為3.0MHz(1%),輸出功率7.2W、10.2W、29.6W三檔可調(diào)。本機主要是通過空氣、氧氣或氬氣等氣體的等離子體來去除基片上的氧化層和污染物,同時也可改變物體表面的性質(zhì)(如親水和疏水性等),對于基片的清洗以及薄膜處理是較為理想的設(shè)備。

  • 產(chǎn)品型號:
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時間:2022-09-16
  • 訪  問  量:1111

詳細(xì)介紹

品牌其他品牌價格區(qū)間2萬-5萬
產(chǎn)地類別國產(chǎn)應(yīng)用領(lǐng)域地礦,綜合

PCE-6小型等離子清洗機的等離子腔體為 ?160mm×190mm的石英腔體,采用的射頻電源功率為3.0MHz(1%),輸出功率7.2W、10.2W、29.6W三檔可調(diào)。本機主要是通過空氣、氧氣或氬氣等氣體的等離子體來去除基片上的氧化層和污染物,同時也可改變物體表面的性質(zhì)(如親水和疏水性等),對于基片的清洗以及薄膜處理是較為理想的設(shè)備。體積小,占用的空間少,可有效節(jié)約實驗室空間。配有一個雙旋真空泵,可對腔體進(jìn)行抽真空,同時通入氬氣等氣體,適用于對易氧化的物品的清洗。1、通過控制面板的按鍵及開關(guān),可控制調(diào)節(jié)射頻功率、真空泵的開閉、清洗時間。
2、時間、功率、真空度等信息顯示在一組4位數(shù)碼管上。
3、設(shè)有一個三通閥,可精確控制進(jìn)氣流量,以及大氣流清洗腔體,進(jìn)氣接口為6mm卡套接口。
4、選用大功率射頻電源設(shè)備可進(jìn)行等離子刻蝕和等離子灰化實驗。

產(chǎn)品名稱      
PCE-6小型等離子清洗機
產(chǎn)品型號      
PCE-6
主要參數(shù)      
1、電源:AC220V  50/60Hz
2、輸出功率:7.2W、10.2W、29.6W
3、真空泵功率:<500W
4、總功率:<600W
5、射頻頻率:3.0MHz,功率3檔可手動調(diào)節(jié)
6、等離子腔體:高純石英腔體?160mm×190mm,采用鋁制折疊式法蘭進(jìn)行密封,法蘭上設(shè)有?45mm的觀察窗
7、真空泵:120L/min,直連式雙旋真空泵
8、極限真空度:50mtorr

9、通入氣體:可通入多種氣體來產(chǎn)生等離子,如N2、Ar、H2、O2、Air和混合氣體等(根據(jù)材料性質(zhì)選定)

清洗及蝕刻

產(chǎn)品規(guī)格

尺寸:400mm×300mm×300mm

重量:10.2kg

可選配件1、2"-6"石英舟(盛放基片)
2、2-4通道質(zhì)子或浮子混氣系統(tǒng)



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