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簡(jiǎn)要描述:GSL-1800X-ZF6鈣鈦礦鍍膜機(jī)是一種利用電阻加熱使膜材汽化蒸發(fā)后凝結(jié)在基片上成膜的加熱鍍膜方法,該方法結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、實(shí)用,使用可靠,適用于制備金屬單質(zhì)薄膜、半導(dǎo)體薄膜、氧化物薄膜、有機(jī)薄膜等等,可用于科研單位進(jìn)行新材料、新工藝薄膜研究工作,也可用于大批量生產(chǎn)前的試驗(yàn)工作。適用范圍:鈣鈦礦材料、二維材料、光伏太陽(yáng)能電池的器件制備等。
產(chǎn)品分類CLASSIFICATION
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詳細(xì)介紹
品牌 | 其他品牌 | 價(jià)格區(qū)間 | 面議 |
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產(chǎn)地類別 | 國(guó)產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
GSL-1800X-ZF6鈣鈦礦鍍膜機(jī)是一種利用電阻加熱使膜材汽化蒸發(fā)后凝結(jié)在基片上成膜的加熱鍍膜方法,該方法結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、實(shí)用,使用可靠,適用于制備金屬單質(zhì)薄膜、半導(dǎo)體薄膜、氧化物薄膜、有機(jī)薄膜等等,可用于科研單位進(jìn)行新材料、新工藝薄膜研究工作,也可用于大批量生產(chǎn)前的試驗(yàn)工作。
適用范圍:鈣鈦礦材料、二維材料、光伏太陽(yáng)能電池的器件制備等
·鈣鈦礦鍍膜機(jī)主要由金屬源蒸發(fā)沉積室,真空排氣系統(tǒng),真空測(cè)量系統(tǒng),有機(jī)蒸發(fā)源,無(wú)機(jī)蒸發(fā)源,樣品臺(tái)系統(tǒng),電控系統(tǒng),配氣系統(tǒng)等部分組成
·方便操作,制成的薄膜純度高、質(zhì)量好,膜厚可以準(zhǔn)確的控制,成膜速率快,效率高,用掩膜可以獲得清晰的圖形,薄膜的生長(zhǎng)比較單純。
·恢復(fù)工作真空快,大氣至5×10-4Pa≤15分鐘。
產(chǎn)品名稱 | GSL-1800X-ZF6鈣鈦礦鍍膜機(jī) | |
產(chǎn)品型號(hào) | GSL-1800X-ZF6 | |
主要參數(shù) | 1、極限真空度:5×10-5Pa,保壓12小時(shí) 2、膜厚均勻性≥95%;重復(fù)性≥95%; 3、不銹鋼蒸發(fā)基片托1個(gè),最大可容納一塊4英寸樣品 4、蒸發(fā)源距離可調(diào)范圍:260mm-320mm 5、蒸發(fā)水冷電極2組(6個(gè)),組成4個(gè)蒸發(fā)舟,最大輸出功率3Kw(電壓 10V;電流300A)。 6、提供2臺(tái)有機(jī)電源,2臺(tái)無(wú)機(jī)電源,最多同時(shí)蒸發(fā)4種材料。 7、方型真空室尺寸500mm×500mm×450mm(長(zhǎng)×寬×高) | |
序號(hào) | 名稱 | 數(shù)量 | 圖片鏈接 |
1 | 有機(jī)材料蒸發(fā)電源 | 2套 | - |
2 | 無(wú)機(jī)材料蒸發(fā)電源 | 2套 | - |
3 | 膜厚監(jiān)測(cè)儀系統(tǒng) | 1套 | - |
4 | 分子泵 | 1臺(tái) | - |
5 | 冷水機(jī) | 1臺(tái) | - |
6 | 聚酯PU管(?8、6、4mm) | 10m | - |
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