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GSL-1800X-ZF6鈣鈦礦鍍膜機(jī)

簡(jiǎn)要描述:GSL-1800X-ZF6鈣鈦礦鍍膜機(jī)是一種利用電阻加熱使膜材汽化蒸發(fā)后凝結(jié)在基片上成膜的加熱鍍膜方法,該方法結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、實(shí)用,使用可靠,適用于制備金屬單質(zhì)薄膜、半導(dǎo)體薄膜、氧化物薄膜、有機(jī)薄膜等等,可用于科研單位進(jìn)行新材料、新工藝薄膜研究工作,也可用于大批量生產(chǎn)前的試驗(yàn)工作。
適用范圍:鈣鈦礦材料、二維材料、光伏太陽(yáng)能電池的器件制備等。

  • 產(chǎn)品型號(hào):
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間:2024-04-10
  • 訪  問(wèn)  量:254

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GSL-1800X-ZF6鈣鈦礦鍍膜機(jī)是一種利用電阻加熱使膜材汽化蒸發(fā)后凝結(jié)在基片上成膜的加熱鍍膜方法,該方法結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、實(shí)用,使用可靠,適用于制備金屬單質(zhì)薄膜、半導(dǎo)體薄膜、氧化物薄膜、有機(jī)薄膜等等,可用于科研單位進(jìn)行新材料、新工藝薄膜研究工作,也可用于大批量生產(chǎn)前的試驗(yàn)工作。
適用范圍:鈣鈦礦材料、二維材料、光伏太陽(yáng)能電池的器件制備等

·鈣鈦礦鍍膜機(jī)主要由金屬源蒸發(fā)沉積室,真空排氣系統(tǒng),真空測(cè)量系統(tǒng),有機(jī)蒸發(fā)源,無(wú)機(jī)蒸發(fā)源,樣品臺(tái)系統(tǒng),電控系統(tǒng),配氣系統(tǒng)等部分組成
·方便操作,制成的薄膜純度高、質(zhì)量好,膜厚可以準(zhǔn)確的控制,成膜速率快,效率高,用掩膜可以獲得清晰的圖形,薄膜的生長(zhǎng)比較單純。
·恢復(fù)工作真空快,大氣至5×10-4Pa≤15分鐘。

產(chǎn)品名稱
GSL-1800X-ZF6鈣鈦礦鍍膜機(jī)
產(chǎn)品型號(hào)GSL-1800X-ZF6
主要參數(shù)
1、極限真空度:5×10-5Pa,保壓12小時(shí)
2、膜厚均勻性≥95%;重復(fù)性≥95%;
3、不銹鋼蒸發(fā)基片托1個(gè),最大可容納一塊4英寸樣品
4、蒸發(fā)源距離可調(diào)范圍:260mm-320mm
5、蒸發(fā)水冷電極2組(6個(gè)),組成4個(gè)蒸發(fā)舟,最大輸出功率3Kw(電壓 10V;電流300A)。
6、提供2臺(tái)有機(jī)電源,2臺(tái)無(wú)機(jī)電源,最多同時(shí)蒸發(fā)4種材料。
7、方型真空室尺寸500mm×500mm×450mm(長(zhǎng)×寬×高)












序號(hào)名稱數(shù)量圖片鏈接
1

有機(jī)材料蒸發(fā)電源

2套-
2無(wú)機(jī)材料蒸發(fā)電源2套-
3

膜厚監(jiān)測(cè)儀系統(tǒng)

1套-
4分子泵1臺(tái)-
5

冷水機(jī)

1臺(tái)-
6聚酯PU管(?8、6、4mm)
10m
-



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