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當(dāng)前位置:首頁 > 產(chǎn)品中心 > 混氣系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、水冷系統(tǒng) > 混氣系統(tǒng) > GSL-4Z混氣系統(tǒng)4路質(zhì)子GSL-4Z
簡要描述:混氣系統(tǒng)4路質(zhì)子GSL-4Z是用于控制一種到四種的氣體流經(jīng)真空密封的管式爐,這種氣體控制系統(tǒng)安裝在移動架內(nèi),管式爐可以放在移動架上面,氣體控制系統(tǒng)的前面板上有控制并顯示氣體流量的調(diào)節(jié)閥,可以用于CVD系統(tǒng)及退火爐,用來研究氣體環(huán)境對材料的影響,在半導(dǎo)體和集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保和真空等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的作用,廣泛應(yīng)用于電子工藝設(shè)備,如擴(kuò)散、氧化、外延
產(chǎn)品分類CLASSIFICATION
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詳細(xì)介紹
產(chǎn)品型號 | 混氣系統(tǒng)4路質(zhì)子GSL-4Z |
主要特點(diǎn) | 精度高,運(yùn)行穩(wěn)定可靠,工作壓力范圍寬,可在高壓或真空條件下工作,且操作使用方便。 |
技術(shù)參數(shù) | 1、電源:185-245V 50Hz 2、zui大輸出功率:18W 3、控制范圍:控制器1——0-100SCCM、控制器2——1-199SCCM、 控制器3——1-199SCCM、控制器4——1-499SCCM 4、zui大壓力:3×106 Pa 5、準(zhǔn)確度:±1%FS 6、線性:±0.5-1.5% 7、重復(fù)精度:±0.2%FS 8、響應(yīng)時間:氣特性1-4s,電特性10s針閥:316不銹鋼 9、工作壓差范圍:0.1-0.5 MPa 10、壓力表測量范圍:-0.1-0.15MPa(0.01 MPa/grid) 11、混氣罐:Φ80mm×120mm 12、截止閥:Φ1/4″,316不銹鋼針閥 13、工作溫度:5-45℃ |
產(chǎn)品規(guī)格 | 尺寸:600mm×600mm×650mm |
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