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混氣系統(tǒng)3路質(zhì)子GSL-3Z

簡(jiǎn)要描述:混氣系統(tǒng)3路質(zhì)子GSL-3Z是用于控制一種到三種的氣體流經(jīng)真空密封的管式爐,這種氣體控制系統(tǒng)安裝在移動(dòng)架內(nèi),管式爐可以放在移動(dòng)架上面,氣體控制系統(tǒng)的前面板上有控制并顯示氣體流量的調(diào)節(jié)閥,可以用于CVD系統(tǒng)及退火爐,用來(lái)研究氣體環(huán)境對(duì)材料的影響,在半導(dǎo)體和集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保和真空等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的作用,廣泛應(yīng)用于電子工藝設(shè)備,如擴(kuò)散、氧化、外延

  • 產(chǎn)品型號(hào):GSL-3Z
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間:2016-04-15
  • 訪  問  量:1838

詳細(xì)介紹

 

產(chǎn)品型號(hào)

  混氣系統(tǒng)3路質(zhì)子GSL-3Z

主要特點(diǎn)

  精度高,運(yùn)行穩(wěn)定可靠,工作壓力范圍寬,可在高壓或真空條件下工作,且操作使用方便。

技術(shù)參數(shù)

  1、電源:185-245V  50Hz

  2、zui大輸出功率:18W

  3、控制范圍:控制器1——0-100SCCM、控制器2——1-199SCCM、控制器3——1-499SCCM

  5、準(zhǔn)確度:±1%FS

  6、線性:±0.5-1.5%

  7、重復(fù)精度:±0.2%FS

  8、響應(yīng)時(shí)間:氣特性1-4s,電特性10s針閥:316不銹鋼

  9、工作壓差范圍:0.1-0.5 MPa

  10、壓力表測(cè)量范圍:-0.1-0.15MPa0.01 MPa/grid

  11、混氣罐:Φ80mm×120mm

  12、截止閥:Φ1/4″,316不銹鋼針閥

  13、工作溫度:5-45

產(chǎn)品規(guī)格

  尺寸:600mm×600mm×650mm

 

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