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簡(jiǎn)要描述:6″單溫區(qū)CVD真空管式爐GSL-1100X-6-S是一款爐管內(nèi)徑為6″的真空管式爐,可以在不同氣氛下,在Z大5″的基片上生長(zhǎng)多種薄膜。
產(chǎn)品分類CLASSIFICATION
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詳細(xì)介紹
產(chǎn)品型號(hào) | 6″單溫區(qū)CVD真空管式爐GSL-1100X-6-S | ||
主要特點(diǎn) | 1、雙層殼體,配有循環(huán)風(fēng)冷系統(tǒng)。爐體采用高純度氧化鋁多晶纖維保溫材料,環(huán)保節(jié)能。殼體溫度<70℃。 2、采用不銹鋼真空密封法蘭,使用雙硅膠密封圈進(jìn)行密封。 3、設(shè)有雙K型測(cè)溫?zé)犭娕己?/span>一個(gè)額外的溫度校準(zhǔn)檢測(cè)系統(tǒng)。 4、采用PID控制器 ,可以設(shè)置30段升降溫程序。 5、已通過(guò)CE認(rèn)證。 | ||
技術(shù)參數(shù) | 1、電源:AC 220V 8KW 2、石英管:內(nèi)徑Φ152mm,長(zhǎng)1016mm 3、加熱元件:Ni-Cr-Al電阻絲 4、加熱區(qū)域:600mm 5、恒溫區(qū)域:200mm 6、工作溫度:zui高1100℃,連續(xù)工作400℃-1000℃ 7、zui大升降溫速率:10℃/min 8、熱電偶:雙K型 9、控溫精度:±1℃ 10、真空度:10-2torr(機(jī)械泵),10-5torr(分子泵) 11、鎧裝熱偶檢測(cè)口:1個(gè) 12、真空接口:KF40 | ||
產(chǎn)品規(guī)格 | 尺寸:1000mm×680mm×920mm;重量:250kg | ||
標(biāo)準(zhǔn)配件 | 1 | 石英管 | 1根 |
2 | 氧化鋁管堵 | 2個(gè) | |
可選配件 | 1、軟件接口模塊和PC機(jī) 2、石英管 3、石英管堵 4、K型熱電偶(Φ6.35mm×915mm,用于對(duì)爐膛溫度校準(zhǔn)) 5、真空泵 |
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