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8.5″單溫區(qū)CVD真空管式爐GSL-1100X-8.5-S

簡要描述:8.5″單溫區(qū)CVD真空管式爐GSL-1100X-8.5-S是一款爐管外徑為8.5″ 的真空管式爐,可以在不同氣氛下,在Z大6″的基片上生長多種薄膜。

  • 產(chǎn)品型號:GSL-1100X-8.5-S
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時間:2016-04-07
  • 訪  問  量:1425

詳細(xì)介紹

 

產(chǎn)品型號

  8.5單溫區(qū)CVD真空管式爐GSL-1100X-8.5-S

主要特點(diǎn)

  1雙層殼體,配有循環(huán)風(fēng)冷系統(tǒng)。爐體采用高純度氧化鋁多晶纖維保溫材料,環(huán)保節(jié)能。殼體溫度<70℃。

  2采用不銹鋼真空密封法蘭,使用雙硅膠密封圈進(jìn)行密封

  3、設(shè)有K型測溫?zé)犭娕己?/span>一個額外的溫度校準(zhǔn)檢測系統(tǒng)。

  4、采用PID控制器 ,可以設(shè)置30段升降溫程序。

  5已通過CE認(rèn)證。

技術(shù)參數(shù)

  1、電源:AC 220V  8KW

  2、石英管:外徑Φ216mm,內(nèi)徑Φ208mm,長1016mm

  3、加熱元件:Ni-Cr-Al電阻絲

  4、加熱區(qū)域:600mm

  5、恒溫區(qū)域200mm

  6工作溫度:zui高1100,連續(xù)工作400-1000

  7、zui大升降溫速率:10/min

  8熱電偶:雙K

  9、控溫精度:±1

  10、真空度:10-2torr(機(jī)械泵),10-5torr(分子泵)

  11、鎧裝熱偶檢測口:1

  12、真空接口:KF40

產(chǎn)品規(guī)格

  尺寸:1000mm×680mm×920mm;重量:250kg

標(biāo)準(zhǔn)配件

1

  石英管

1

2

  氧化鋁管堵

2

可選配件

  1、軟件接口模塊和PC機(jī)

  2、石英管

  3、石英管堵

  4、K型熱電偶(Φ6.35mm×915mm,用于對爐膛溫度校準(zhǔn))

  5、真空泵

 

 

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