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當(dāng)前位置:首頁(yè) > 產(chǎn)品中心 > 管式爐 > 1000℃-1100℃管式爐 > GSL-1100X-8.5-SR8.5″帶滑動(dòng)法蘭真空管式爐GSL-1100X-8.5-SR
簡(jiǎn)要描述:8.5″帶滑動(dòng)法蘭真空管式爐GSL-1100X-8.5-SR是三溫區(qū)滑軌真空管式爐,可通入混合氣體進(jìn)行低壓力化學(xué)氣相沉積處理。本機(jī)可在不同氣氛下,在Z大6″的基片上生長(zhǎng)多種薄膜。
產(chǎn)品分類CLASSIFICATION
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詳細(xì)介紹
產(chǎn)品型號(hào) | 8.5″帶滑動(dòng)法蘭真空管式爐GSL-1100X-8.5-SR | ||
主要特點(diǎn) | 1、雙層殼體,配有循環(huán)風(fēng)冷系統(tǒng)。爐體采用高純度氧化鋁多晶纖維保溫材料,環(huán)保節(jié)能。殼體溫度<70℃。 2、滑軌式法蘭結(jié)構(gòu),方便取放樣品。 3、設(shè)有雙K型測(cè)溫?zé)犭娕己?/span>一個(gè)額外的溫度校準(zhǔn)檢測(cè)系統(tǒng)。 4、采用PID控制器 ,可以設(shè)置30段升降溫程序。 5、右端法蘭裝載石英管堵,用以阻止熱輻射;左端法蘭上設(shè)有4片磨砂石英擋片,用于阻止熱輻射。 6、已通過(guò)CE認(rèn)證。 | ||
技術(shù)參數(shù) | 1、電源:?jiǎn)蜗?/span>220V 8KW 2、石英管:外徑Φ216mm,內(nèi)徑Φ208mm,長(zhǎng)1300mm 3、加熱元件:Ni-Cr-Al電阻絲 4、加熱區(qū)域:900mm 5、恒溫區(qū)域:3500mm 6、工作溫度:zui高1100℃,連續(xù)工作400℃-1000℃ 7、zui大升降溫速率:10℃/min 8、控溫精度:±1℃ 9、真空度:10-2torr(機(jī)械泵),10-5torr(分子泵) 10、熱偶檢測(cè)真空接口:KF-25口:1個(gè) 11、進(jìn)氣接口:5路,精密不銹鋼針閥密封 12、爐體:1300mm×680mm×920mm 13、滑軌:600mm | ||
產(chǎn)品規(guī)格 | 尺寸:1780mm×1780mm×1650mm;重量:354kg | ||
標(biāo)準(zhǔn)配件 | 1 | 石英管堵 | 1個(gè) |
2 | KF-25真空擋板閥 | 1個(gè) | |
3 | KF-40不銹鋼波紋管 | 1根 | |
可選配件 | 1、軟件接口模塊和PC機(jī) 2、K型熱電偶(Φ6.35mm×915mm,用于對(duì)爐膛溫度校準(zhǔn)) 3、冷水機(jī) 4、高速雙極旋片泵 5、數(shù)顯真空計(jì) 6、高真空機(jī)組(機(jī)械泵和渦輪分子泵) 5、質(zhì)量流量供氣系統(tǒng) 6、石英樣品架 7、可移動(dòng)爐架(800mm×600mm) |
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