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當(dāng)前位置:首頁(yè)  >  產(chǎn)品中心  >  管式爐  >  1000℃-1100℃管式爐  >  GSL-1100X-8.5-SR8.5″帶滑動(dòng)法蘭真空管式爐GSL-1100X-8.5-SR

8.5″帶滑動(dòng)法蘭真空管式爐GSL-1100X-8.5-SR

簡(jiǎn)要描述:8.5″帶滑動(dòng)法蘭真空管式爐GSL-1100X-8.5-SR是三溫區(qū)滑軌真空管式爐,可通入混合氣體進(jìn)行低壓力化學(xué)氣相沉積處理。本機(jī)可在不同氣氛下,在Z大6″的基片上生長(zhǎng)多種薄膜。

  • 產(chǎn)品型號(hào):GSL-1100X-8.5-SR
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間:2016-04-07
  • 訪  問(wèn)  量:1552

詳細(xì)介紹

 

產(chǎn)品型號(hào)

  8.5帶滑動(dòng)法蘭真空管式爐GSL-1100X-8.5-SR

主要特點(diǎn)

  1、雙層殼體,配有循環(huán)風(fēng)冷系統(tǒng)。爐體采用高純度氧化鋁多晶纖維保溫材料,環(huán)保節(jié)能殼體溫度<70℃。

  2滑軌式法蘭結(jié)構(gòu),方便取放樣品。

  3、設(shè)有K型測(cè)溫?zé)犭娕己?/span>一個(gè)額外的溫度校準(zhǔn)檢測(cè)系統(tǒng)。

  4、采用PID控制器 ,可以設(shè)置30段升降溫程序。

  5、右端法蘭裝載石英管堵,用以阻止熱輻射;左端法蘭上設(shè)有4片磨砂石英擋片,用于阻止熱輻射。

  6、已通過(guò)CE認(rèn)證。

技術(shù)參數(shù)

  1、電源:?jiǎn)蜗?/span>220V  8KW

  2、石英管:外徑Φ216mm,內(nèi)徑Φ208mm,長(zhǎng)1300mm

  3、加熱元件:Ni-Cr-Al電阻絲

  4、加熱區(qū)域:900mm

  5、恒溫區(qū)域3500mm

  6、工作溫度:zui高1100,連續(xù)工作400-1000

  7、zui大升降溫速率:10/min

  8、控溫精度:±1

  9、真空度:10-2torr(機(jī)械泵),10-5torr(分子泵)

  10、熱偶檢測(cè)真空接口:KF-25口:1個(gè)

  11進(jìn)氣接口:5路,精密不銹鋼針閥密封

  12爐體:1300mm×680mm×920mm

  13、滑軌:600mm

產(chǎn)品規(guī)格

  尺寸:1780mm×1780mm×1650mm;重量:354kg

標(biāo)準(zhǔn)配件

1

  石英管堵

1個(gè)

2

  KF-25真空擋板閥

1個(gè)

3

  KF-40不銹鋼波紋管

1

可選配件

  1、軟件接口模塊和PC機(jī)

  2、K型熱電偶(Φ6.35mm×915mm,用于對(duì)爐膛溫度校準(zhǔn))

  3、冷水機(jī)

  4、高速雙極旋片泵

  5、數(shù)顯真空計(jì)

  6、高真空機(jī)組(機(jī)械泵和渦輪分子泵)

  5、質(zhì)量流量供氣系統(tǒng)

  6、石英樣品架

  7、可移動(dòng)爐架(800mm×600mm

 

 

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