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小型1000℃RTP爐OTF-1200X-4-RTP

簡要描述:小型1000℃RTP爐OTF-1200X-4-RTP 是一款精巧型快速熱處理管式爐,配有4″石英管和真空法蘭,是專為半導(dǎo)體或太陽能電池基片(Z大3″)的退火而設(shè)計。本機(jī)采用10KW紅外燈管加熱,Z快升溫速度為 50℃/s,設(shè)有30 段溫度控制,精度為±1℃。此外,通過RS485口和控制軟件可在計算機(jī)上實現(xiàn)實時控制和溫度曲線顯示。

  • 產(chǎn)品型號:OTF-1200X-4-RTP
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時間:2016-07-20
  • 訪  問  量:1469

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品型號

 小型1000RTPOTF-1200X-4-RTP

安裝條件

  本設(shè)備要求在海拔1000m以下,溫度25℃±15℃,濕度55%Rh±10%Rh下使用。

  1、水:設(shè)備需配有自循環(huán)冷卻水機(jī)(加注純凈水或者去離子水)

  2、電:AC220V 50Hz(35A空氣開關(guān)),必須有良好接地

  3、氣:設(shè)備腔室內(nèi)需充注氬氣(純度99.99%以上),需自備氬氣氣瓶(自帶Ø6mm雙卡套接頭)

  4、工作臺:尺寸1500mm×600mm×700mm,承重200kg以上

  5、通風(fēng)裝置:需要

主要特點

  1、內(nèi)爐膛表面涂有進(jìn)口的高溫氧化鋁涂層,可以提高設(shè)備的加熱效率,同時可延長其使用壽命。

  2、石英樣品架固定在滑動法蘭上,使樣品裝載更加容易。

  3、樣品架上放置76mm3"AlN,承載需要退火的樣品AIN具有很高的熱導(dǎo)率,可使樣品放置的區(qū)

  域有很好的溫度均勻性±5℃)。

  4、內(nèi)插式熱偶保證了溫度的準(zhǔn)確。

  5、采用PID自動溫度控制,30段程序,并設(shè)有過熱和斷偶保護(hù)功能及自整定功能。

  6、已通過CE認(rèn)證。所有電器元件(>24V)都通過了UL/MET/CAS認(rèn)證。若用戶自行承擔(dān)認(rèn)證費用,本司保證

  單臺設(shè)備通過德國TUV認(rèn)證和CAS認(rèn)證。

  7、可增加鍍SiC的石墨坩堝改造成RTE爐(快速熱蒸發(fā)爐)。

       

技術(shù)參數(shù)

  1電源:208V-240V AC,50Hz/60Hz單相,zui大功率9KW>60A保險)

  2、爐體結(jié)構(gòu):雙層莫來石鋼構(gòu)(不帶水冷或風(fēng)冷)

  3石英管外徑Ø110mm,內(nèi)徑Ø103mm,長380mm

  4、樣品架76mm

  5、加熱元件:8根紅外燈管,燈絲長200mm,絲圈Ø10mm,燈長300mm

              

  6、恒溫區(qū)102mm×305mm,均勻性±5

  7、熱偶:K型熱偶

  8、溫度:zui高溫度1100℃,額定溫度1000(警告:在1000-1100℃下保溫時間不超過600s,否則O型圈將被

     燒融)

   9、控溫精度:±1

  10、zui快升溫速度:RT-800℃內(nèi)50/s800-1000℃內(nèi)10/s

  11、zui快降溫速度:60/min(在200mtorr下),117/min(在一個大氣壓下)

  12、真空度:50mtorr(機(jī)械泵),10-4torr(分子泵)

  13、真空法蘭 帶有KF-D25高真空不銹鋼法蘭,配有兩個高溫O型圈密封

  14、流量計:16ml/min-160ml/min

  15、真空計:數(shù)字真空計,測量范圍10mtorr-800torr(注意:此表在氮氣下校準(zhǔn)的,只有在氮氣和空氣下表

      上顯示的實際壓力,當(dāng)通入任何其他氣體時,必須參考說明書中的相對氣體對照表,否則后果會

      嚴(yán)重)

  16、水冷:如要求通冷卻水,請確定冷卻水流速3L/min、水溫20、水壓25PSI(建議采用循環(huán)水制冷器作為

     冷卻系統(tǒng))

 

產(chǎn)品規(guī)格

 尺寸:760mm×330mm×530mm;重量:45kg

  

標(biāo)準(zhǔn)配件

1

AIN基片

1

2

石英樣品架

1

3

石英管

1

4

石英擋板

4

5紅外燈管8
6真空法蘭1套
7

KF-D25快接

2套
8

數(shù)字真空計

1個
9高溫手套1

10

高溫硅膠圈

6個

11

聚氨酯水管(外徑Ø12mm、內(nèi)徑Ø8mm

1

12水管接頭2個
1363A保險2個

14

4A保險

2個

可選配件  1真空泵

  2、波紋管KF-D25接口)(1m

  3KF-D25快接

  4、防腐型數(shù)字式真空顯示計(測量范圍3.8×10-5torr-1125torr,不需要因測量氣體的種類不同而進(jìn)行系數(shù)轉(zhuǎn)換)

  5、RS485串口和控溫軟件

注意事項

  1、爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa

  2、由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高,所以向爐管內(nèi)通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥。(建議選購本司的減壓閥,量

  程為0.01MPa-0.1MPa,更加精確安全)

  3、當(dāng)爐體溫度高于1000℃時,爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài),爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng),保持在常壓狀態(tài)。

  4、進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊。

  5、石英管的長時間使用溫度<1100℃。

  6、對于樣品加熱的實驗,不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱,則需時

  刻關(guān)注壓力表的示數(shù)。若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa,必須立即打開泄氣閥,以防意外發(fā)生(如爐管破

  裂、法蘭飛出等)。

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