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當(dāng)前位置:首頁 > 產(chǎn)品中心 > 專業(yè)高溫爐系列 > RTP快速退火爐 > OTF-1200X-4-RTP小型1000℃RTP爐OTF-1200X-4-RTP
簡要描述:小型1000℃RTP爐OTF-1200X-4-RTP 是一款精巧型快速熱處理管式爐,配有4″石英管和真空法蘭,是專為半導(dǎo)體或太陽能電池基片(Z大3″)的退火而設(shè)計。本機(jī)采用10KW紅外燈管加熱,Z快升溫速度為 50℃/s,設(shè)有30 段溫度控制,精度為±1℃。此外,通過RS485口和控制軟件可在計算機(jī)上實現(xiàn)實時控制和溫度曲線顯示。
產(chǎn)品分類CLASSIFICATION
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詳細(xì)介紹
產(chǎn)品型號 | 小型1000℃RTP爐OTF-1200X-4-RTP | ||
安裝條件 | 本設(shè)備要求在海拔1000m以下,溫度25℃±15℃,濕度55%Rh±10%Rh下使用。 1、水:設(shè)備需配有自循環(huán)冷卻水機(jī)(加注純凈水或者去離子水) 2、電:AC220V 50Hz(35A空氣開關(guān)),必須有良好接地 3、氣:設(shè)備腔室內(nèi)需充注氬氣(純度99.99%以上),需自備氬氣氣瓶(自帶Ø6mm雙卡套接頭) 4、工作臺:尺寸1500mm×600mm×700mm,承重200kg以上 5、通風(fēng)裝置:需要 | ||
主要特點 | 1、內(nèi)爐膛表面涂有進(jìn)口的高溫氧化鋁涂層,可以提高設(shè)備的加熱效率,同時可延長其使用壽命。 2、石英樣品架固定在滑動法蘭上,使樣品裝載更加容易。 3、樣品架上放置76mm(3")的AlN基片,承載需要退火的樣品。AIN具有很高的熱導(dǎo)率,可使樣品放置的區(qū) 域有很好的溫度均勻性(±5℃)。 4、內(nèi)插式熱偶保證了溫度的準(zhǔn)確性。 5、采用PID自動溫度控制,30段程序,并設(shè)有過熱和斷偶保護(hù)功能及自整定功能。 6、已通過CE認(rèn)證。所有電器元件(>24V)都通過了UL/MET/CAS認(rèn)證。若用戶自行承擔(dān)認(rèn)證費用,本司保證 單臺設(shè)備通過德國TUV認(rèn)證和CAS認(rèn)證。 7、可增加鍍SiC的石墨坩堝改造成RTE爐(快速熱蒸發(fā)爐)。
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技術(shù)參數(shù) | 1、電源:208V-240V AC,50Hz/60Hz單相,zui大功率9KW(>60A保險) 2、爐體結(jié)構(gòu):雙層莫來石鋼構(gòu)(不帶水冷或風(fēng)冷) 3、石英管:外徑Ø110mm,內(nèi)徑Ø103mm,長380mm 4、樣品架:76mm 5、加熱元件:8根紅外燈管,燈絲長200mm,絲圈Ø10mm,燈長300mm
6、恒溫區(qū):102mm×305mm,均勻性±5℃ 7、熱偶:K型熱偶 8、溫度:zui高溫度1100℃,額定溫度1000℃(警告:在1000℃-1100℃下保溫時間不超過600s,否則O型圈將被 燒融) 9、控溫精度:±1℃ 10、zui快升溫速度:RT-800℃內(nèi)50℃/s,800℃-1000℃內(nèi)10℃/s 11、zui快降溫速度:60℃/min(在200mtorr下),117℃/min(在一個大氣壓下) 12、真空度:50mtorr(機(jī)械泵),10-4torr(分子泵) 13、真空法蘭: 帶有KF-D25高真空不銹鋼法蘭,配有兩個高溫O型圈密封 14、流量計:16ml/min-160ml/min 15、真空計:數(shù)字真空計,測量范圍10mtorr-800torr(注意:此表在氮氣下校準(zhǔn)的,只有在氮氣和空氣下表 上顯示的實際壓力,當(dāng)通入任何其他氣體時,必須參考說明書中的相對氣體對照表,否則后果會 嚴(yán)重) 16、水冷:如要求通冷卻水,請確定冷卻水流速3L/min、水溫20℃、水壓25PSI(建議采用循環(huán)水制冷器作為 冷卻系統(tǒng))
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產(chǎn)品規(guī)格 | 尺寸:760mm×330mm×530mm;重量:45kg
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標(biāo)準(zhǔn)配件 | 1 | AIN基片 | 1片 |
2 | 石英樣品架 | 1個 | |
3 | 石英管 | 1根 | |
4 | 石英擋板 | 4片 | |
5 | 紅外燈管 | 8根 | |
6 | 真空法蘭 | 1套 | |
7 | KF-D25快接 | 2套 | |
8 | 數(shù)字真空計 | 1個 | |
9 | 高溫手套 | 1雙 | |
10 | 高溫硅膠圈 | 6個 | |
11 | 聚氨酯水管(外徑Ø12mm、內(nèi)徑Ø8mm) | 1根 | |
12 | 水管接頭 | 2個 | |
13 | 63A保險 | 2個 | |
14 | 4A保險 | 2個 | |
可選配件 | 1、真空泵 2、波紋管(KF-D25接口)(1m) 3、KF-D25快接 4、防腐型數(shù)字式真空顯示計(測量范圍3.8×10-5torr-1125torr,不需要因測量氣體的種類不同而進(jìn)行系數(shù)轉(zhuǎn)換) 5、RS485串口和控溫軟件 | ||
注意事項 | 1、爐管內(nèi)氣壓不可高于0.02MPa。 2、由于氣瓶內(nèi)部氣壓較高,所以向爐管內(nèi)通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥。(建議選購本司的減壓閥,量 程為0.01MPa-0.1MPa,更加精確安全) 3、當(dāng)爐體溫度高于1000℃時,爐管內(nèi)不可處于真空狀態(tài),爐管內(nèi)的氣壓需和大氣壓相當(dāng),保持在常壓狀態(tài)。 4、進(jìn)入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊。 5、石英管的長時間使用溫度<1100℃。 6、對于樣品加熱的實驗,不建議關(guān)閉爐管法蘭端的抽氣閥和進(jìn)氣閥使用。若需要關(guān)閉氣閥對樣品加熱,則需時 刻關(guān)注壓力表的示數(shù)。若氣壓表示數(shù)大于0.02MPa,必須立即打開泄氣閥,以防意外發(fā)生(如爐管破 裂、法蘭飛出等)。 |
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