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雙管滑動快速加熱冷卻爐OTF-1200X-4-C4LVS

簡要描述:雙管滑動快速加熱冷卻爐OTF-1200X-4-C4LVS是特殊的雙管CVD系統(tǒng),是專為在金屬箔上生長薄膜而設(shè)計的,特別適用于新一代能源——柔性金屬箔電極方面的研究。本機可通過滑動爐體,實現(xiàn)快速加熱和冷卻。

  • 產(chǎn)品型號:OTF-1200X-4-C4LVS
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時間:2016-04-12
  • 訪  問  量:1381

詳細介紹

 

產(chǎn)品型號

  雙管滑動快速加熱冷卻爐OTF-1200X-4-C4LVS

主要特點

  1、采用高純Al2O3保溫材料,保證了爐膛有*的溫度均勻性,內(nèi)爐膛表面涂有進口高溫氧化鋁涂層,可以 

        提高設(shè)備的加熱效率及延長儀器的使用壽命。

  2、設(shè)有雙石英管,金屬箔纏繞在內(nèi)管的外表面上,以發(fā)生CVD反應(yīng)。

  3、雙管的真空密封法蘭允許反應(yīng)氣體通過兩管之間(10mm間隙)發(fā)生反應(yīng),冷卻氣體直接通入內(nèi)管。

  4、配有四通道質(zhì)量流量計控制4路氣體,及采用KF25快接和波紋管連接的高速機械泵。

  5、底部設(shè)有滑軌,爐子可以從一端滑向另一端,從而實現(xiàn)快速升溫和降溫。

  6、樣品所在的位置每路氣路都有一個獨立的不銹鋼針閥控制。

技術(shù)參數(shù)

  1、電源:單相208-240V AC  50/60Hz  2.5KW20A保險絲)

  2、石英管:外管外徑Φ100mm,內(nèi)徑Φ96mm,長1400mm

                        內(nèi)管外徑Φ80mm,內(nèi)徑Φ75mm,長1400mm

  3、加熱區(qū):440mm

  4、恒溫區(qū)120mm(雙溫區(qū)爐可獲得240mm

  5工作溫度:zui高溫度1100℃,連續(xù)溫度1000

  6、控溫精度:±1

  7、升降溫速度:在使用前需要校正工作溫度、加熱效率、冷卻效率

                

  8、真空度:10-3torr(機械泵),10-5torr(分子泵)

  9、真空法蘭:SS304不銹鋼,配有兩個高溫O型圈密封

  10、流量計:4路精密質(zhì)子流量計,氣體流量自動控制(數(shù)字顯示)

                          MFC1范圍0-100sccm    MFC2范圍0-200sccm

                          MFC3范圍0-200sccm    MFC4范圍0-500sccm

  11、流量精度:0.2%

  12、進出氣口:1/4卡套

產(chǎn)品規(guī)格

  尺寸:550mm×380mm×520mm;重量:138kg

可選配件

  1、銅箔150m×150mm×25µm,生長石墨烯用)

  2、防腐型數(shù)字真空計

 

       

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