国产精品 欧美精品aⅴ在线-真实国产日韩欧美全部综合视频-精品精品国产欧美在线观看-最新免费网站高清国产欧美

Product Center

產(chǎn)品中心

當(dāng)前位置:首頁(yè)  >  產(chǎn)品中心  >  專業(yè)高溫爐系列  >  石墨烯/納米管生長(zhǎng)爐  >  OTF-1200X-4-C4LV1200℃雙管滑動(dòng)式四通道混氣CVD系統(tǒng)OTF-1200X-4-C4LV

1200℃雙管滑動(dòng)式四通道混氣CVD系統(tǒng)OTF-1200X-4-C4LV

簡(jiǎn)要描述:1200℃雙管滑動(dòng)式四通道混氣CVD系統(tǒng)OTF-1200X-4-C4LV是專門為在金屬箔表面生長(zhǎng)薄膜而設(shè)計(jì)的,特別是應(yīng)用在新一代能源——柔性金屬箔電極方面的研究。

  • 產(chǎn)品型號(hào):OTF-1200X-4-C4LV
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間:2016-04-12
  • 訪  問(wèn)  量:1322

詳細(xì)介紹

 

產(chǎn)品型號(hào)

  1200℃雙管滑動(dòng)式四通道混氣CVD系統(tǒng)OTF-1200X-4-C4LV

主要特點(diǎn)

  1采用高純氧化鋁保溫材料,保證了*的溫度均勻性。

  2、內(nèi)爐膛表面涂有美國(guó)進(jìn)口氧化鋁涂層,可以提高反射率和保護(hù)爐膛潔凈度。

  3、采用PID控制器 ,可以設(shè)置30段升降溫程序。

  4、金屬箔纏繞在內(nèi)管的外表面上發(fā)CVD反應(yīng)。

  5、采用雙管真空密封法蘭,允許反應(yīng)氣體通過(guò)兩管之間(10mm間隙)。

  6、冷卻氣體直接通入內(nèi)管。

  7配有KF25快接和波紋管的高速機(jī)械泵。

  8、爐底部裝有滑軌,爐體可從一端滑向另一端,從而實(shí)現(xiàn)快速升溫和降溫。為了獲得較快的加熱速度,可以 

        先將爐體預(yù)熱,然后滑至放置樣品處;為了獲得較快的冷卻速度,可將爐體滑至另一端,同時(shí)將冷氣通入 

        樣品所在處。

  9、封法蘭系統(tǒng)采用不銹鋼制作。

  10通過(guò)CE認(rèn)證。

技術(shù)參數(shù)

  管式爐

  1、電源:?jiǎn)蜗?/span>AC 208-240V   50/60Hz  2.5KW 20A保險(xiǎn)絲)

  2、石英管:外管外徑Φ100mm內(nèi)徑Φ96mm,長(zhǎng)1400mm

                        內(nèi)管外徑Φ80mm,內(nèi)徑Φ75mm,長(zhǎng)1400mm

  3、加熱元件:摻鉬鐵鉻鋁合金電阻絲(表面涂有氧化鋯)

  4、加熱區(qū)域:440mm

   5、恒溫區(qū)域:120mm(±1℃在400-1100℃)

  6、工作溫度:zui高1100,連續(xù)工作1000

  7、zui大升降溫速率:20/min

  8、控溫精度:±1

  9、真空度:10-2torr(機(jī)械泵),10-5torr(分子泵)

  質(zhì)量流量混氣系統(tǒng)

  1、質(zhì)子流量計(jì):4路精密質(zhì)子流量計(jì),數(shù)字顯示,氣體流量自動(dòng)控制

                                MFC1范圍0-100sccm,MFC2范圍0-200sccm,MFC3范圍0-200sccm,MFC1范圍0-500sccm

  2、流量精度:0.2%

  3、氣路:4路(每個(gè)氣路都有一個(gè)獨(dú)立的不銹鋼針閥控制)

  4、進(jìn)出氣口:1/4卡套

  5、混氣罐:1個(gè)

產(chǎn)品規(guī)格

  尺寸:管式爐550mm×380mm×520mm,移動(dòng)架600mm×600mm×597mm

  重量:135kg

可選配件

  1、分子泵

  2、雙溫區(qū)管式爐

  3、銅箔(生長(zhǎng)石墨烯150mm×150mm×25µm

 

產(chǎn)品咨詢

留言框

  • 產(chǎn)品:

  • 您的單位:

  • 您的姓名:

  • 聯(lián)系電話:

  • 常用郵箱:

  • 省份:

  • 詳細(xì)地址:

  • 補(bǔ)充說(shuō)明:

  • 驗(yàn)證碼:

    請(qǐng)輸入計(jì)算結(jié)果(填寫(xiě)阿拉伯?dāng)?shù)字),如:三加四=7
歡迎您的咨詢
我們將竭盡全力為您用心服務(wù)
2885379450
關(guān)注公眾號(hào)
版權(quán)所有 © 2024 沈陽(yáng)科晶自動(dòng)化設(shè)備有限公司  備案號(hào):遼ICP備07009795號(hào)-2

TEL:

關(guān)注公眾號(hào)