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PCE-3等離子清洗機(jī)

簡(jiǎn)要描述:PCE-3等離子清洗機(jī)使用空氣、氧氣、氬氣等離子去除納米級(jí)有機(jī)物污染,在射頻電源的作用下,Z大去除速率為10nm/min。在單晶材料外延薄膜生長(zhǎng)以前對(duì)其進(jìn)行預(yù)處理,將對(duì)生長(zhǎng)具有顯著的作用。

  • 產(chǎn)品型號(hào):PCE-3
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間:2018-11-05
  • 訪  問(wèn)  量:1363

詳細(xì)介紹

品牌其他品牌價(jià)格區(qū)間2萬(wàn)-5萬(wàn)
產(chǎn)地類別國(guó)產(chǎn)

      PCE-3等離子清洗機(jī)的等離子腔體為Ø75mm×165mm的耐熱玻璃腔體,輸出功率6.8W、10.5W、18W三檔可調(diào)。本機(jī)主要是通過(guò)空氣、氧氣或氬氣等氣體的等離子體來(lái)去除基片上的氧化層和污染物,同時(shí)也可改變物體表面的性質(zhì)(如親水和疏水性等),對(duì)于基片的清洗以及薄膜處理是較為理想的設(shè)備,在射頻電源的作用下,去除速率可達(dá)10nm/min。在單晶材料外延薄膜生長(zhǎng)以前對(duì)其進(jìn)行預(yù)處理,將對(duì)生長(zhǎng)具有顯著的作用。PCE-3等離子清洗機(jī)配有一個(gè)真空泵,可對(duì)腔體進(jìn)行抽真空,同時(shí)通入氬氣等保護(hù)氣體,適用于對(duì)易氧化的物品的清洗。

產(chǎn)品名稱

PCE-3等離子清洗機(jī)

產(chǎn)品型號(hào)

PCE-3

主要特點(diǎn)

1、使用可調(diào)射頻電源, 可以設(shè)置低、中、高功率。

2、桌上型設(shè)備,結(jié)構(gòu)緊湊、操作安 全、環(huán)境友好、低成本。

技術(shù)參數(shù)

1輸入電壓:110V/220V、50Hz/60Hz (請(qǐng)?zhí)崆斑x定),小于100W

2、輸出功率:13.56MHz

3、等離子直流電源:低功率設(shè)定—680V,10mA,6.8W;中 功率設(shè)定—700V,15mA,10.5W;高功率設(shè)定—720V,25mA,18W

4、等離子腔室:Ø75mm×165mm,耐熱玻璃,前蓋可拆卸

5、通入氣體:可通入多種氣體,如N2、Ar、空氣、混合氣體等,主要根據(jù)處理材料性質(zhì)所定

6、真空泵和閥的要求:>160L/min,極限壓力200mtorr(0.27mbar),可選擇數(shù)字真空表,針閥控制氣體流量,采用三通閥門(mén)快速控制進(jìn)氣、密封等離子腔室、排氣

 

清洗及蝕刻

 

產(chǎn)品規(guī)格

尺寸:200mm×250mm×210mm;重量:8kg(不含泵)

注意事項(xiàng)

不能使用可燃性氣體

可選配件

本司研發(fā)的電阻真空計(jì)

以Pirani電阻規(guī)在不同真空環(huán)境下提現(xiàn)的熱傳導(dǎo)性為原理而研發(fā)的一款低真空測(cè)量?jī)x器,特別適應(yīng)于從常壓到0.1Pa非腐蝕性氣體環(huán)境的真空測(cè)量。

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