產(chǎn)品中心
當(dāng)前位置:首頁(yè) > 產(chǎn)品中心 > 清洗設(shè)備 > 等離子清洗 > PCE-3PCE-3等離子清洗機(jī)
簡(jiǎn)要描述:PCE-3等離子清洗機(jī)使用空氣、氧氣、氬氣等離子去除納米級(jí)有機(jī)物污染,在射頻電源的作用下,Z大去除速率為10nm/min。在單晶材料外延薄膜生長(zhǎng)以前對(duì)其進(jìn)行預(yù)處理,將對(duì)生長(zhǎng)具有顯著的作用。
相關(guān)文章ARTICLES
詳細(xì)介紹
品牌 | 其他品牌 | 價(jià)格區(qū)間 | 2萬(wàn)-5萬(wàn) |
---|---|---|---|
產(chǎn)地類別 | 國(guó)產(chǎn) |
PCE-3等離子清洗機(jī)的等離子腔體為Ø75mm×165mm的耐熱玻璃腔體,輸出功率6.8W、10.5W、18W三檔可調(diào)。本機(jī)主要是通過(guò)空氣、氧氣或氬氣等氣體的等離子體來(lái)去除基片上的氧化層和污染物,同時(shí)也可改變物體表面的性質(zhì)(如親水和疏水性等),對(duì)于基片的清洗以及薄膜處理是較為理想的設(shè)備,在射頻電源的作用下,去除速率可達(dá)10nm/min。在單晶材料外延薄膜生長(zhǎng)以前對(duì)其進(jìn)行預(yù)處理,將對(duì)生長(zhǎng)具有顯著的作用。PCE-3等離子清洗機(jī)配有一個(gè)真空泵,可對(duì)腔體進(jìn)行抽真空,同時(shí)通入氬氣等保護(hù)氣體,適用于對(duì)易氧化的物品的清洗。
產(chǎn)品名稱 | PCE-3等離子清洗機(jī) |
產(chǎn)品型號(hào) | PCE-3 |
主要特點(diǎn) | 1、使用可調(diào)射頻電源, 可以設(shè)置低、中、高功率。 2、桌上型設(shè)備,結(jié)構(gòu)緊湊、操作安 全、環(huán)境友好、低成本。 |
技術(shù)參數(shù) | 1、輸入電壓:110V/220V、50Hz/60Hz (請(qǐng)?zhí)崆斑x定),小于100W 2、輸出功率:13.56MHz 3、等離子直流電源:低功率設(shè)定—680V,10mA,6.8W;中 功率設(shè)定—700V,15mA,10.5W;高功率設(shè)定—720V,25mA,18W 4、等離子腔室:Ø75mm×165mm,耐熱玻璃,前蓋可拆卸 5、通入氣體:可通入多種氣體,如N2、Ar、空氣、混合氣體等,主要根據(jù)處理材料性質(zhì)所定 6、真空泵和閥的要求:>160L/min,極限壓力200mtorr(0.27mbar),可選擇數(shù)字真空表,針閥控制氣體流量,采用三通閥門(mén)快速控制進(jìn)氣、密封等離子腔室、排氣
|
清洗及蝕刻 |
|
產(chǎn)品規(guī)格 | 尺寸:200mm×250mm×210mm;重量:8kg(不含泵) |
注意事項(xiàng) | 不能使用可燃性氣體 |
可選配件 | 本司研發(fā)的電阻真空計(jì) 以Pirani電阻規(guī)在不同真空環(huán)境下提現(xiàn)的熱傳導(dǎo)性為原理而研發(fā)的一款低真空測(cè)量?jī)x器,特別適應(yīng)于從常壓到0.1Pa非腐蝕性氣體環(huán)境的真空測(cè)量。 |
產(chǎn)品咨詢