DC-500-LD 500W直流濺射電源

簡要描述：500W直流濺射電源DC-500-LD主要適用于我公司制造的VTC-600-2HD雙靶磁控濺射儀和VTC-600-3HD三靶磁控濺射儀，主要為濺射儀提供直流電源，配合磁控濺射頭達到濺射靶材的目的。

產(chǎn)品型號：
廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家
更新時間：2018-11-01
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產(chǎn)品分類CLASSIFICATION

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產(chǎn)地類別	國產(chǎn)

500W直流濺射電源DC-500-LD主要適用于我公司制造的VTC-600-2HD雙靶磁控濺射儀和VTC-600-3HD三靶磁控濺射儀，主要為濺射儀提供直流電源，配合磁控濺射頭達到濺射靶材的目的。工作過程中輸出功率可達到500W，輸出電壓可達DC600V，電壓和電流的分辨都*，可以滿足對絕大多數(shù)導電材料的濺射的目的。該直流電源配用本司的磁控濺射頭，再搭配循環(huán)水冷機及高真空系統(tǒng)自行搭建磁控濺射鍍膜儀對樣品進行鍍膜操作，是磁控濺射儀中*的組成部分。

產(chǎn)品型號	500W直流濺射電源DC-500-LD
技術參數(shù)	1、輸入電壓：AC 220V 2、zui大輸出功率：500W 3、zui大輸出電壓：DC 600V 4、電壓分辨率：DC 1.0V 5、zui大輸出電流：DC 0.8A 6、電流分辨率：1mA 7、控制精度：±1%
產(chǎn)品規(guī)格	尺寸：440mm×160mm×440mm
可選配件	1、2"高真空磁控濺射頭，可自行搭建RF或DC濺射鍍膜儀。 2、同時購買300W射頻發(fā)射器和2"磁控濺射頭時，本司贈送1個高真空快速接頭。接頭內(nèi)徑為0.75"，可將濺射　　頭安裝在真空腔體上，真空腔體上的安裝孔直徑為1"，真空腔體的壁厚不得大于1"。 3、循環(huán)水冷機，流量為16L/min，水箱容積為6L。