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簡要描述:300W小型自動(dòng)匹配型射頻電源RF-300I-LD將自動(dòng)匹配器和13.56MHz的射頻電源集成在一起,可以自動(dòng)匹配容抗和感抗,使得安裝和操作更加方便容易。配用本司的磁控濺射頭可自行搭建磁控濺射鍍膜儀。
詳細(xì)介紹
品牌 | 其他品牌 | 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) |
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RF-300I-LD 300W小型自動(dòng)匹配型射頻發(fā)生器主要適用于我公司制造的VTC-600-2HD雙靶磁控濺射儀和VTC-600-3HD三靶磁控濺射儀。該射頻發(fā)生器在工作時(shí)將自動(dòng)匹配器和13.56MHz的射頻電源集成在一起,可以自動(dòng)匹配容抗和感抗,使得安裝和操作更加方便容易;輸入功率可根據(jù)需要自行進(jìn)行調(diào)整,調(diào)整范圍在5W-300W;冷卻過程采用空氣冷卻,無需采用其它冷卻設(shè)備,節(jié)約了設(shè)計(jì)成;噪音極低,對環(huán)境幾乎無污染。該發(fā)生器配用本司的磁控濺射頭可自行搭建磁控濺射鍍膜儀對樣品進(jìn)行鍍膜操作。
產(chǎn)品型號(hào) | 300W小型自動(dòng)匹配型射頻電源RF-300I-LD |
技術(shù)參數(shù) | 1、電源:AC 110V-240V 50Hz/60Hz 2、輸入功率:5W-300W(可調(diào)),穩(wěn)定性±1% 3、射頻頻率:13.56MHz,穩(wěn)定性±0.005% 4、匹配:自動(dòng)匹配,空氣電容 5、冷卻:空氣冷卻 6、噪音:<50dB |
產(chǎn)品規(guī)格 | 尺寸:480mm×400mm×140mm
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可選配件 | 1、2"高真空磁控濺射頭,可自行搭建RF或DC濺射鍍膜儀。
2、同時(shí)購買300W射頻發(fā)射器和2"磁控濺射頭時(shí),本司贈(zèng)送1個(gè)高真空快速接頭。接頭內(nèi)徑為0.75",可將濺射 頭安裝在真空腔體上,真空腔體上的安裝孔直徑為1",真空腔體的壁厚不得大于1"。
3、循環(huán)水冷機(jī),流量為16L/min,水箱容積為6L。 |
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