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簡要描述:EQ-TM106膜厚監(jiān)測儀是采用石英晶體振蕩原理,結(jié)合*的頻率測量技術(shù),進行膜厚的在線監(jiān)測。主要應用于MBE、OLED熱蒸發(fā)、磁控濺射等設(shè)備的薄膜制備過程中,用于對膜層厚度及鍍膜速率進行實時監(jiān)測。
產(chǎn)品分類CLASSIFICATION
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詳細介紹
品牌 | 其他品牌 | 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) |
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EQ-TM106膜厚監(jiān)測儀是采用石英晶體振蕩原理,結(jié)合*的頻率測量技術(shù),進行膜厚的在線監(jiān)測。主要應用于MBE、OLED熱蒸發(fā)、磁控濺射等設(shè)備的薄膜制備過程中,用于對膜層厚度及鍍膜速率進行實時監(jiān)測。EQ-TM106膜厚監(jiān)測儀根據(jù)制備薄膜的實時速率可以輸出PWM(脈沖寬度調(diào)制)模擬量,作為膜厚傳感器使用,與調(diào)節(jié)儀和蒸發(fā)電源配合實現(xiàn)蒸發(fā)源的閉環(huán)速率控制,從而檢測所制備薄膜的厚度。EQ-TM106膜厚監(jiān)測儀體積小巧可節(jié)省實驗室空間,原理簡單,操作方便,尤其適合于實驗室中薄膜制備過程的使用。
產(chǎn)品名稱 | EQ-TM106膜厚監(jiān)測儀 | ||
產(chǎn)品型號 | EQ-TM106 | ||
主要特點 | 1、本機可與計算機連接。 2、顯示儀具有界面簡潔、直觀、合理、操作方便快捷等優(yōu)點,可直觀顯示所測的膜厚、速率、頻率、PWM控制輸出的百分比等工作狀態(tài)。 3、通過軟件或顯示儀可對門控時間、輸出方式、速率算法、材料參數(shù)、輸出量程及通訊參數(shù)等進行設(shè)置,并可將所測相關(guān)數(shù)據(jù)寫入Excel文件。 4、具有體積超小、測量精度高、操作簡單、使用方便等優(yōu)點。 | ||
技術(shù)參數(shù) | EQ-TM106-1監(jiān)測組件 1、電源:DC 5V(±10%),最大電流400mA 2、頻率分辨率:±0.03Hz 3、膜厚分辨率:0.0136Å(鋁) 4、膜厚準確度:±0.5%,取決于過程條件,特別是傳感器的位置,材料應力,溫度和密度 5、測量速度:100ms-1s/次,可設(shè)置 6、測量范圍:500000Å(鋁) 7、標準傳感器晶體:6MHz 8、計算機接口:RS-232/485串行接口(波特率1200、2400、4800、9600、19200、38400可設(shè)置,數(shù)據(jù)位:8,停止位:1,校驗:無) 9、模擬輸出:8比特分辨率,PWM脈寬調(diào)制輸出(集電極開路或內(nèi)部5V輸出) 10、工作環(huán)境:溫度0-50℃,濕度5%-85%RH,不得有冷凝水珠 11、外形尺寸:90mm×50mm×18mm | ||
EQ-TM106-2顯示儀 1、輸入電源:AC 220V±10% 2、輸出電源:DC 5V 3A 3、顯示器:12×2數(shù)碼管與LED 4、通訊端口:RS-485(波特率1200、2400、4800、9600、19200、38400可設(shè)置,數(shù)據(jù)位:8位,停止位:1位,奇偶校驗:無) 5、外形尺寸:182mm×65mm×160mm | |||
EQ-TM106-3探頭 1、適用晶片頻率:6MHz 2、適用晶片尺寸:Ø14mm 3、安裝法蘭:CF35 4、冷卻水管:Ø3mm,長度300mm、500mm、1000mm 5、冷卻水壓:<0.3MPa 6、氣動擋板路管:Ø3mm 7、壓縮空氣壓力:<0.8MPa,>0.5MPa 8、烘烤溫度:通水狀態(tài)<200℃,不通水狀態(tài)法蘭<100℃ 9、電氣接口:BCN插座 | |||
標準配件 | 1 | EQ-TM106-1監(jiān)測組件 | 1個 |
2 | EQ-TM106-2顯示儀 | 1臺 | |
3 | EQ-TM106-3探頭 | 1個 |
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