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EQ-TM106膜厚監(jiān)測儀

簡要描述:EQ-TM106膜厚監(jiān)測儀是采用石英晶體振蕩原理,結(jié)合*的頻率測量技術(shù),進行膜厚的在線監(jiān)測。主要應用于MBE、OLED熱蒸發(fā)、磁控濺射等設(shè)備的薄膜制備過程中,用于對膜層厚度及鍍膜速率進行實時監(jiān)測。

  • 產(chǎn)品型號:
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時間:2018-11-05
  • 訪  問  量:1239

詳細介紹

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    EQ-TM106膜厚監(jiān)測儀是采用石英晶體振蕩原理,結(jié)合*的頻率測量技術(shù),進行膜厚的在線監(jiān)測。主要用于MBE、OLED熱蒸發(fā)、磁控濺射等設(shè)備薄膜制備過程中,用于膜層厚度及鍍膜速率進行實時監(jiān)測。EQ-TM106膜厚監(jiān)測儀根據(jù)制備薄膜的實時速率可以輸出PWM(脈沖寬度調(diào)制)模擬量,作為膜厚傳感器使用,與調(diào)節(jié)儀和蒸發(fā)電源配合實現(xiàn)蒸發(fā)源的閉環(huán)速率控制,從而檢測所制備薄膜的厚度。EQ-TM106膜厚監(jiān)測儀體積小巧可節(jié)省實驗室空間,原理簡單,操作方便,尤其適合于實驗室中薄膜制備過程的使用。 

產(chǎn)品名稱

EQ-TM106膜厚監(jiān)測儀

產(chǎn)品型號

EQ-TM106

主要特點

1、可與計算機連接。

2、顯示儀具有界面簡潔、直觀、合理、操作方便快捷等優(yōu)點,可直觀顯示所測的膜厚、速率、頻率、PWM控制輸出的百分比等工作狀態(tài)

3、通過軟件或顯示儀可對門控時間、輸出方式、速率算法、材料參數(shù)、輸出量程及通訊參數(shù)等進行設(shè)置,并可將所測相關(guān)數(shù)據(jù)寫入Excel文件。

4、具有體積超小、測量精度高、操作簡單、使用方便等優(yōu)點。

技術(shù)參數(shù)

EQ-TM106-1監(jiān)測組件

1、電源:DC  5V(±10%)最大電流400mA

2、頻率分辨率:±0.03Hz

3、膜厚分辨率:0.0136Å

4、膜厚準確度:±0.5%,取決于過程條件,特別是傳感器的位置,材料應力,溫度和密度

5、測量速度:100ms-1s/可設(shè)置

6、測量范圍:500000Å(

7、標準傳感器晶體:6MHz

8、計算機接口:RS-232/485串行接口波特率1200、2400、4800、9600、19200、38400可設(shè)置,數(shù)據(jù)位8,停止位1校驗

9、模擬輸出:8比特分辨率PWM脈寬調(diào)制輸出集電極開路或內(nèi)部5V輸出

10、工作環(huán)境:溫度0-50℃,濕度5%-85%RH,不得有冷凝水珠

   11、外形尺寸:90mm×50mm×18mm

EQ-TM106-2顯示儀

1、輸入電源:AC 220V±10%

2、輸出電源:DC  5V  3A

3、顯示器:12×2數(shù)碼管LED

4、通訊端口:RS-485(波特率1200、2400、4800、9600、19200、38400可設(shè)置,數(shù)據(jù)位8位,停止位1位奇偶校驗

  5、外形尺寸:182mm×65mm×160mm

EQ-TM106-3探頭

1、適用晶片頻率:6MHz

2、適用晶片尺寸:Ø14mm

3、安裝法蘭:CF35

4、冷卻水管:Ø3mm,長度300mm、500mm、1000mm

5、冷卻水壓:<0.3MPa

6、氣動擋板路管:Ø3mm

7、壓縮空氣壓力:<0.8MPa,>0.5MPa

8、烘烤溫度:通水狀態(tài)<200℃,不通水狀態(tài)法蘭<100℃

9、電氣接口:BCN插座

標準配件

1

EQ-TM106-1監(jiān)測組件

1個

2

EQ-TM106-2顯示儀

1臺

3

EQ-TM106-3探頭

1個

 

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