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EQ-TM106膜厚監(jiān)測儀是采用石英晶體振蕩原理,結(jié)合*的頻率測量技術(shù),進(jìn)行膜厚的在線監(jiān)測。主要應(yīng)用于MBE、OLED熱蒸發(fā)、磁控濺射等設(shè)備的薄膜制備過程中,用于對膜層厚度及鍍膜速率進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)測。