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SE-VM光譜橢偏儀

簡要描述:產(chǎn)品簡介:SE-VM 是一款高精度快速測量光譜橢偏儀??赏ㄟ^橢偏參數(shù)、 透射/反射率等參數(shù)的測量,快速實(shí)現(xiàn)光學(xué)參數(shù)薄膜和納米結(jié)構(gòu)的表征分析,適用于薄膜材料的快速測量表征。支持多角度,微光斑,可視化調(diào)平系統(tǒng)等高兼容性靈活配置,多功能模塊定制化設(shè)計(jì)。

高精度橢偏測量解決方案;超高精度、快速無損測量;支持多角度、微光斑、可視化調(diào)平系統(tǒng)功能模塊靈活定制;豐富的數(shù)據(jù)庫和幾何結(jié)構(gòu)模型庫,保證強(qiáng)大數(shù)據(jù)分析能力

  • 產(chǎn)品型號:
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間:2019-02-15
  • 訪  問  量:2210

詳細(xì)介紹

價(jià)格區(qū)間面議產(chǎn)地類別國產(chǎn)

 

產(chǎn)品型號

SE-VM光譜橢偏儀

主要特點(diǎn)

1、采用高性能進(jìn)口復(fù)合光源,光譜覆蓋可見到近紅外范圍 (380-1000nm)

2、高精度旋轉(zhuǎn)補(bǔ)償器調(diào)制、PCRSA配置,實(shí)現(xiàn)Psi/Delta光譜數(shù)據(jù)高速采集

3、支持系列配置靈活,可根據(jù)不同應(yīng)用場景支持多功能模塊化定制

4、數(shù)百種材料數(shù)據(jù)庫、多種算法模型庫,涵蓋了目前絕大部分的光電材料

技術(shù)參數(shù)

1、自動(dòng)化程度:手動(dòng)變角

2、應(yīng)用定位:通用型

3、基本功能:Psi/Delta、N/C/S、R/T等光譜

4、分析光譜380-1000nm(可擴(kuò)至210-1650nm)

5、單次測量時(shí)間:0.5-5s

6、重復(fù)性測量精度:0.01nm

7、光斑大?。捍蠊獍?-3mm,微光斑200μm

8、入射角調(diào)節(jié)方式:手動(dòng)變角

9、入射角范圍:55-75°(5°步進(jìn)),90°

10、找焦方式:手動(dòng)找焦

11、Mapping行程:不支持

12、支持樣件尺寸:大至180mm

可選配件

1

溫控臺

 

2

Mapping擴(kuò)展模塊

 

3

真空泵

 

4

透射吸附組件

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