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TF200薄膜厚度測量系統(tǒng)利用薄膜干涉光學(xué)原理,對薄膜進(jìn)行厚度測量及分析。用從深紫外到近紅外可選配的寬光譜光源照射薄膜表面,探頭同位接收反射光線。TF200薄膜厚度測量系統(tǒng)根據(jù)反射回來的干涉光,用反復(fù)校準(zhǔn)的算法快速反演計算出薄膜的厚度。測量范圍1nm-3mm,可同時完成多層膜厚的測試。對于100nm以上的薄膜,還可以測量n和k值。
SGC-10薄膜測厚儀適用于介質(zhì),半導(dǎo)體,薄膜濾波器和液晶等薄膜和涂層的厚度測量。該薄膜測厚儀,是我公司與美國new-span公司合作研制的,采用new-span公司*的薄膜測厚技術(shù),基于白光干涉的原理來測定薄膜的厚度和光學(xué)常數(shù)(折射率n,消光系數(shù)k)。