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簡要描述:VGB-600-3HD薄膜電池制備系統(tǒng)可在手套箱內(nèi)進(jìn)行實(shí)驗(yàn)操作,用于制備單層或多層鐵電薄膜、導(dǎo)電薄膜、合金薄膜、半導(dǎo)體薄膜、陶瓷薄膜、介質(zhì)薄膜、光學(xué)薄膜、氧化物薄膜、硬質(zhì)薄膜、聚四氟乙烯薄膜等。該系統(tǒng)配置三個(gè)靶槍,一個(gè)配套射頻電源通過轉(zhuǎn)換開關(guān)可以分別連接至任一靶頭,用于各類靶材的濺射鍍膜。與同類設(shè)備相比,其不僅應(yīng)用廣泛,且具有體積小便于操作的優(yōu)點(diǎn),是一款實(shí)驗(yàn)室制備材料薄膜的理想設(shè)備,特別適用于實(shí)驗(yàn)
產(chǎn)品分類CLASSIFICATION
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詳細(xì)介紹
品牌 | 其他品牌 | 價(jià)格區(qū)間 | 面議 |
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產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 電氣 |
產(chǎn)品名稱 | VGB-600-3HD薄膜電池制備系統(tǒng) |
主要特點(diǎn) | 1、配置三個(gè)靶槍,一個(gè)配套射頻電源通過轉(zhuǎn)換開關(guān)可以分別連接至任一靶頭,用于各類靶材的濺射鍍膜(靶槍可以根據(jù)客戶需要任何調(diào)換)。 2、可制備多種薄膜,應(yīng)用廣泛。 3、體積小,操作簡便。 4、整機(jī)模塊化設(shè)計(jì),真空腔室、真空泵組、控制電源分體式設(shè)計(jì),可根據(jù)用戶實(shí)際需要調(diào)整。 5、可根據(jù)用戶實(shí)際需要選擇電源,可以一個(gè)電源控制多個(gè)靶槍,也可多個(gè)電源單一控制靶槍(選配)。 6、可在手套箱內(nèi)進(jìn)行實(shí)驗(yàn)操作,更換各類易氧化的靶材用于鍍膜實(shí)驗(yàn)。 |
技術(shù)參數(shù) | 三靶磁控濺射部分 1、電源電壓:220V 50Hz 2、總功率:2.5KW 3、極限真空度:< E-6mbar(配合本公司機(jī)械泵設(shè)備使用可達(dá)到 E-3mbar) 4、工作溫度:RT-500℃,精度±1℃(可根據(jù)實(shí)際需要提升溫度) 5、靶槍數(shù)量:3個(gè) 6、靶槍冷卻方式:水冷 7、靶材尺寸:Ø2″,厚度0.1mm-5mm(因靶材材質(zhì)不同厚度有所不同) 8、射頻濺射功率:300W/500W(可選) 9、載樣臺:Ø140mm 10、載樣臺轉(zhuǎn)速:1rpm-20rpm內(nèi)可調(diào) 11、保護(hù)氣體:Ar、N2等惰性氣體 12、進(jìn)氣氣路:質(zhì)量流量計(jì)控制2路進(jìn)氣,1個(gè)流量為100 SCCM,1個(gè)流量為200 SCCM 手套箱部分 1、電源:單相AC110V-220V 50Hz/60Hz 2、殼體材料:304不銹鋼 3、手套箱腔體:1220mm×760mm×900mm 4、前級室:設(shè)有2個(gè)前級室,大前級室Ø360mm×600mm,小前級室Ø150mm×300mm 5、腔體環(huán)境:水含量<1ppm(20℃,1atm),氧含量<1ppm(20℃,1atm) 6、工作氣體:N2、Ar、He等惰性氣體 7、控制氣體:壓縮空氣或惰性氣體 8、還原氣體:工作氣體和H2的混合氣(如果凈化系統(tǒng)只有除水功能,還原氣體與工作氣體相同) 9、氣體凈化系統(tǒng):德國BASF除氧材料、美國UOP高效吸水材料,凈化系統(tǒng)再生過程自動控制,自動除水、 除氧功能,可長期、持續(xù)維持氣體純度在水<1ppm、氧<1ppm 10、壓力控制系統(tǒng):腔體氣壓可通過PLC觸摸屏自動控制,控制精度為±1Pa,也可通過腳踏開關(guān)進(jìn)行手動控制 11、過濾系統(tǒng):進(jìn)、出氣端都裝有過濾器,過濾精度為0.3μm 12、控制系統(tǒng):SIEMENS彩色觸摸屏(6寸),PLC控制系統(tǒng),中英文雙語可切換;
水探頭采用美國GE品牌,0-1000ppm觸摸屏顯示,精度0.1ppm; 氧變送器采用美國AII品牌,0-1000ppm觸摸屏顯示,精度0.1ppm; 壓力傳感儀采用美國setra品牌,-2500-2500Pa觸摸屏顯示,精度±1Pa; 13、真空泵:采用英國EDWARDS品牌,抽速8.4m3/h-12m3/h 14、手套:美國NORTH品牌丁基合成橡膠 15、照明系統(tǒng):飛利浦品牌熒光燈管 |
產(chǎn)品規(guī)格 | 三靶磁控濺射部分:500mm×560mm×660mm 手套箱部分:2300mm×1500mm×1900mm |
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