等離子清洗機(jī)

簡(jiǎn)要描述：PCE-8等離子清洗機(jī)是一款較大型的清洗機(jī)，等離子腔體為 Φ8.5 “×12“的石英腔體，采用的射頻電源功率0 - 100W連續(xù)可調(diào)節(jié)。本機(jī)主要是通過(guò)空氣、氧氣或氬氣等氣體的等離子體來(lái)去除基片上的氧化層和污染物，同時(shí)也可改變物體表面的性質(zhì)（如親水和疏水性等），對(duì)于基片的清洗以及薄膜處理是較為理想的設(shè)備。

產(chǎn)品型號(hào)：PCE-8
廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家
更新時(shí)間：2022-09-09
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品牌	其他品牌	價(jià)格區(qū)間	5萬(wàn)-10萬(wàn)
產(chǎn)地類(lèi)別	國(guó)產(chǎn)	應(yīng)用領(lǐng)域	綜合

PCE-8等離子清洗機(jī)是一款較大型的清洗機(jī),等離子腔體為 ?8.5"×12"的石英腔體,采用的射頻電源功率0- 100W連續(xù)可調(diào)節(jié),采用的射頻為13.56MHz。本機(jī)主要是通過(guò)空氣、氧氣或氬氣等氣體的等離子體來(lái)去除基片上的氧化層和污染物,同時(shí)也可改變物體表面的性質(zhì)(如親水和疏水性等),對(duì)于基片的清洗以及薄膜處理是較為理想的設(shè)備。在單晶材料外延薄膜生長(zhǎng)以前對(duì)其進(jìn)行預(yù)處理,將對(duì)生長(zhǎng)具有顯著的作用。配有一個(gè)直連式雙旋真空泵,可對(duì)腔體進(jìn)行抽真空,同時(shí)通入氬氣等保護(hù)氣體,適用于對(duì)易氧化的物品的清洗。采用6″彩色觸摸屏,可控制射頻功率、清洗時(shí)間、氣體流量、真空泵的開(kāi)啟等。內(nèi)部配有0-500mm/min的質(zhì)量流量計(jì),可以精確地控制進(jìn)氣流量。

產(chǎn)品型號(hào)	PCE-8等離子清洗機(jī)
主要特點(diǎn)	1、采用6″彩色觸摸屏,可控制射頻功率、清洗時(shí)間、氣體流量、真空泵的開(kāi)啟等。 2、內(nèi)部配有0-500mm/min的質(zhì)量流量計(jì),可以精確地控制進(jìn)氣流量。
技術(shù)參數(shù)	1、電源:AC220V 2、射頻功率:zui大100W,可在0-100W間調(diào)節(jié) 3、真空泵功率:<500W 4、總功率:<600W 5、射頻:13.56MHz 6、等離子腔體:高純石英腔體,外徑 Φ8.5 ",內(nèi)徑 Φ8.2 ",長(zhǎng)12",采用鋁制折疊式法蘭進(jìn)行真空密封,法蘭設(shè)有一個(gè)Φ60mm的觀察窗口 7、極限真空度:50mtorr 8、通入氣體:可通入多種氣體,如N₂、Ar、Air、H₂、O₂和混合氣體等等(根據(jù)材料性質(zhì)所定)
清洗及蝕刻
產(chǎn)品規(guī)格	尺寸:620mm×450mm×600mm
標(biāo)準(zhǔn)配件	1、直連式雙旋真空泵(240L/min) 2、KF25波紋管 3、KF25手動(dòng)擋板閥
可選配件	1、300W、600W射頻電源(進(jìn)行等離子刻蝕和等離子灰化等實(shí)驗(yàn)) 2、2″-6″石英舟(盛放基片) 3、2-4通道浮子混氣系統(tǒng) 4、2-4通道質(zhì)子混氣系統(tǒng)