国产精品 欧美精品aⅴ在线-真实国产日韩欧美全部综合视频-精品精品国产欧美在线观看-最新免费网站高清国产欧美

Product Center

產(chǎn)品中心

當前位置:首頁  >  產(chǎn)品中心  >  清洗設備  >  等離子清洗  >  PCE-6PCE-6小型等離子清洗機

PCE-6小型等離子清洗機

簡要描述:PCE-6小型等離子清洗機的等離子腔體為 Φ160mm×190mm的石英腔體,采用的射頻電源功率3.0MHz( 1%),輸出功率7.2W、10.2W、29.6W三檔可調。本機主要是通過空氣、氧氣或氬氣等氣體的等離子體來去除基片上的氧化層和污染物,同時也可改變物體表面的性質(如親水和疏水性等),對于基片的清洗以及薄膜處理是較為理想的設備。

  • 產(chǎn)品型號:PCE-6
  • 廠商性質:生產(chǎn)廠家
  • 更新時間:2018-11-05
  • 訪  問  量:3071

詳細介紹

品牌其他品牌價格區(qū)間2萬-5萬
產(chǎn)地類別國產(chǎn)

    PCE-6小型等離子清洗機的等離子腔體為 Ø160mm×190mm的石英腔體,采用的射頻電源功率3.0MHz(1%),輸出功率7.2W、10.2W、29.6W三檔可調。本機主要是通過空氣、氧氣或氬氣等氣體的等離子體來去除基片上的氧化層和污染物,同時也可改變物體表面的性質(如親水和疏水性等),對于基片的清洗以及薄膜處理是較為理想的設備。該等離子清洗機體積小,占用的空間少,可有效節(jié)約實驗室空間。設備配有一個雙旋真空泵可對腔體進行抽真空,同時通入氬氣等氣體,適用于對易氧化的物品的清洗。

產(chǎn)品型號

  PCE-6小型等離子清洗機

主要特點

  1通過控制面板的按鍵及開關,可控制調節(jié)射頻功率、真空泵的開閉、清洗時間。

  2間、功率、真空度等信息顯示在一組4位數(shù)碼管上。

         

  3、設有一個三通閥,可精確控制進氣流量,以及大氣流清洗腔體,進氣接口為6mm卡套接口。

  4、選用大功率射頻電源設備可進行等離子刻蝕和等離子灰化實驗。

技術參數(shù)

  1、電源:AC220V  50/60Hz

  2、輸出功率:7.2W10.2W、29.6W

  3、真空泵功率:<500W

  4、總功率:<600W

  5、射頻頻率:3.0MHz,功率3檔可手動調節(jié)

  6、等離子腔體:高純石英腔體,Φ160mm×190mm,采用鋁制折疊式法蘭進行密封,法蘭上設有Φ45

                                mm的觀察窗

  7、真空泵:240L/min,直連式雙旋真空泵

  8、極限真空度:50mtorr

  9、通入氣體:可通入多種氣體來產(chǎn)生等離子,如N2、ArH2、O2、Air和混合氣體等(根據(jù)材料性

                            質選定)

清洗及蝕刻

產(chǎn)品規(guī)格

  尺寸:400mm×300mm×300mm,重量:10.2kg

可選配件

  1、2-6石英舟(盛放基片)

  22-4通道質子或浮子混氣系統(tǒng)

產(chǎn)品咨詢

留言框

  • 產(chǎn)品:

  • 您的單位:

  • 您的姓名:

  • 聯(lián)系電話:

  • 常用郵箱:

  • 省份:

  • 詳細地址:

  • 補充說明:

  • 驗證碼:

    請輸入計算結果(填寫阿拉伯數(shù)字),如:三加四=7
歡迎您的咨詢
我們將竭盡全力為您用心服務
2885379450
關注公眾號
版權所有 © 2024 沈陽科晶自動化設備有限公司  備案號:遼ICP備07009795號-2

TEL:

關注公眾號