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VTC-600-3HD-1000三靶磁控濺射儀

簡要描述:VTC-600-3HD-1000三靶磁控濺射儀是我公司自主新研制開發(fā)的一款高真空鍍膜設(shè)備,可用于制備單層或多層鐵電薄膜、導(dǎo)電薄膜、合金薄膜、半導(dǎo)體薄膜、陶瓷薄膜、介質(zhì)薄膜、光學(xué)薄膜、氧化物薄膜、硬質(zhì)薄膜、聚四氟乙烯薄膜等。備有三個靶槍和三個電源,一個射頻電源用于非導(dǎo)電材料的濺射鍍膜,一個直流電源用于導(dǎo)電材料的濺射鍍膜,可選配強磁靶用于鐵磁性材料的濺射鍍膜。與同類設(shè)備相比,且具有體積小便于操作的優(yōu)點

  • 產(chǎn)品型號:
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時間:2024-01-17
  • 訪  問  量:854

詳細(xì)介紹

品牌其他品牌價格區(qū)間面議
產(chǎn)地類別國產(chǎn)應(yīng)用領(lǐng)域冶金,綜合

VTC-600-3HD-1000三靶磁控濺射儀是我公司自主新研制開發(fā)的一款高真空鍍膜設(shè)備,可用于制備單層或多層鐵電薄膜、導(dǎo)電薄膜、合金薄膜、半導(dǎo)體薄膜、陶瓷薄膜、介質(zhì)薄膜、光學(xué)薄膜、氧化物薄膜、硬質(zhì)薄膜、聚四氟乙烯薄膜等。VTC-600-3HD-1000三靶磁控濺射儀配備有三個靶槍和三個電源,一個射頻電源用于非導(dǎo)電材料的濺射鍍膜,一個直流電源用于導(dǎo)電材料的濺射鍍膜,可選配強磁靶用于鐵磁性材料的濺射鍍膜。與同類設(shè)備相比,且具有體積小便于操作的優(yōu)點,且可使用的材料范圍廣,是一款實驗室制備各類材料薄膜的理想設(shè)備。
1、配置三個靶槍,兩個配套射頻電源用于非導(dǎo)電靶材的濺射鍍膜,一個配套直流電源用于導(dǎo)電性材料的濺射鍍膜。
2、可制備多種薄膜,應(yīng)用廣泛。
3、體積小,操作簡便。

產(chǎn)品名稱

VTC-600-3HD-1000雙靶磁控濺射儀

產(chǎn)品型號
VTC-600-3HD-1000
主要參數(shù)

1、輸入電源:220V/50Hz 
2、濺射靶數(shù)量:3
3、腔體內(nèi)徑:?300mm
4、靶槍冷卻方式:水冷 
5、極限真空度:7.4E-5pa 
6、真空室規(guī)格:Φ300×330 mm 
7、真空系統(tǒng):VRD-16機械泵 FF-100/150渦輪分子泵 
8、恢復(fù)真空:系統(tǒng)從大氣抽至5.0E-3pa≤30 min(系統(tǒng)短時間暴露大氣) 
9、充氣系統(tǒng):2路質(zhì)量流量計(1路氬氣100scc、1路氬氣200scc)特殊氣體可定制 
10、濺射靶規(guī)格:Φ2",厚度0.1-5mm(因靶材材質(zhì)不同厚度有所不同) 
11、樣品臺:Φ70mm//可加熱(室溫~1000℃) 

產(chǎn)品規(guī)格


主機尺寸:寬900mm×深650mm×高1100mm


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