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精密液體氣相發(fā)生器是針對實驗室CVD實驗中導入液體的系統(tǒng),其液體流量是通過數字液體泵來控制,Z大流量為80ml/min,精確度為0.005ml。液體被蠕動泵導入到混氣系統(tǒng)后,被系統(tǒng)里的加熱裝置加熱成蒸汽,然后隨導入的氣體被帶入到爐管中。本機能夠導出多種液體,如ETOH、SnCl4、 TiCl4R、SiHCl3和Zn(C2H5)2,以及多種有機物混合。對于研究用CVD方法生長納米線和薄膜是的研