產(chǎn)品中心
當(dāng)前位置:首頁 > 產(chǎn)品中心 > 混氣系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、水冷系統(tǒng) >
產(chǎn)品分類CLASSIFICATION
相關(guān)文章ARTICLES
混氣系統(tǒng)2路質(zhì)子GSL-2Z是用于控制一種或兩種的氣體流經(jīng)真空密封的管式爐,這種氣體控制系統(tǒng)安裝在移動架內(nèi),管式爐可以放在移動架上面,氣體控制系統(tǒng)的前面板上有控制并顯示氣體流量的調(diào)節(jié)閥,可以用于CVD系統(tǒng)及退火爐,用來研究氣體環(huán)境對材料的影響,在半導(dǎo)體和集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保和真空等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的作用,廣泛應(yīng)用于電子工藝設(shè)備,如擴散、氧化、外。
混氣系統(tǒng)3路質(zhì)子GSL-3Z是用于控制一種到三種的氣體流經(jīng)真空密封的管式爐,這種氣體控制系統(tǒng)安裝在移動架內(nèi),管式爐可以放在移動架上面,氣體控制系統(tǒng)的前面板上有控制并顯示氣體流量的調(diào)節(jié)閥,可以用于CVD系統(tǒng)及退火爐,用來研究氣體環(huán)境對材料的影響,在半導(dǎo)體和集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保和真空等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的作用,廣泛應(yīng)用于電子工藝設(shè)備,如擴散、氧化、外延
混氣系統(tǒng)4路質(zhì)子GSL-4Z是用于控制一種到四種的氣體流經(jīng)真空密封的管式爐,這種氣體控制系統(tǒng)安裝在移動架內(nèi),管式爐可以放在移動架上面,氣體控制系統(tǒng)的前面板上有控制并顯示氣體流量的調(diào)節(jié)閥,可以用于CVD系統(tǒng)及退火爐,用來研究氣體環(huán)境對材料的影響,在半導(dǎo)體和集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保和真空等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的作用,廣泛應(yīng)用于電子工藝設(shè)備,如擴散、氧化、外延
小型兩通道供氣系統(tǒng)CGM-2F是一種緊湊型雙通道微量氣體混合供氣系統(tǒng),輸入的兩種不同氣體通過調(diào)節(jié)壓力和流量,即可輸出一種較準(zhǔn)確的混合性氣體,可用以小型管式爐、手套箱、等離子清洗機、小型PECVD系統(tǒng)。
多路浮子控制供氣系統(tǒng)GSL-3F適用于控制一種到三種氣體的通入,管式爐可以置于其上,可用于CVD系統(tǒng)及退火爐,可用來研究氣體環(huán)境對材料的影響。
精密氮氣發(fā)生器DFN-500是一種小型高純度氣體發(fā)生器,它產(chǎn)生氣體的速率可達(dá)到500ml/min,且氣體純度99.99%,是化學(xué)和材料實驗室的理想設(shè)備。