国产精品 欧美精品aⅴ在线-真实国产日韩欧美全部综合视频-精品精品国产欧美在线观看-最新免费网站高清国产欧美

Product Center

產(chǎn)品中心

當(dāng)前位置:首頁  >  產(chǎn)品中心  >  CVD及PECVD系統(tǒng)  >  CBD/PECVD系統(tǒng)  >  RTP-1000-F3LV快速升溫CVD系統(tǒng)RTP-1000-F3LV

快速升溫CVD系統(tǒng)RTP-1000-F3LV

簡要描述:快速升溫CVD系統(tǒng)RTP-1000-F3LV是專為半導(dǎo)體基片、太陽能電池及其它樣品(尺寸可達(dá) 3″ )的退火而設(shè)計,配有3路流量計和機(jī)械泵。本機(jī)采用 9KW的紅外燈進(jìn)行加熱,Z快升溫速度可達(dá) 100℃/s,配有RS485 接口,可以通過控制軟件在計算機(jī)上控制運行并顯示溫度曲線。

  • 產(chǎn)品型號:RTP-1000-F3LV
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時間:2016-04-12
  • 訪  問  量:1436

相關(guān)文章ARTICLES

詳細(xì)介紹

 

產(chǎn)品型號

  快速升溫CVD系統(tǒng)RTP-1000-F3LV

主要特點

  1、Al2O3纖維鋼構(gòu),無需水冷或風(fēng)冷。

  2內(nèi)爐膛表面涂有進(jìn)口高溫氧化鋁涂層,可以提高設(shè)備的加熱效率及延長儀器的使用壽命。

  3、PID ,可以設(shè)置30段升降溫程序,并設(shè)有過熱保護(hù)和斷偶功能。

  4已通CE認(rèn)證。

技術(shù)參數(shù)

  1、電源:單相208-240V AC  50/60Hz  9KW

  2、石英管:外徑Φ110mm,內(nèi)徑Φ103mm,長380mm

  3、加熱元件:紅外燈管,直徑Φ10mm,長300mm

  4、加熱區(qū):300mm

  5、工作溫度:zui高溫度1100

  6控溫精度:±0.5

  7、zui高升溫速度:RT-800℃時為50/s800-1000℃時為10/s

  8、溫控儀:可控硅(SCRPID自動控制

  9、真法蘭:不銹鋼,帶有水冷接口和針閥,雙層高溫O型圈密封,長時間在>900℃條件下運行必須采用水                  冷,循環(huán)水流量為0.5m3/hr

  10、真空度:10-3torr

  11、流量計:3個,量程40-400cc/min,精度4%FS

產(chǎn)品規(guī)格

  尺寸:爐體760mm×330mm×530mm,真空混氣系統(tǒng)600mm×600mm×597mm

  重量:爐體45kg,真空混氣系統(tǒng)30kg

可選配件

  防腐型數(shù)字真空計

 

產(chǎn)品咨詢

留言框

  • 產(chǎn)品:

  • 您的單位:

  • 您的姓名:

  • 聯(lián)系電話:

  • 常用郵箱:

  • 省份:

  • 詳細(xì)地址:

  • 補(bǔ)充說明:

  • 驗證碼:

    請輸入計算結(jié)果(填寫阿拉伯?dāng)?shù)字),如:三加四=7
歡迎您的咨詢
我們將竭盡全力為您用心服務(wù)
2885379450
關(guān)注公眾號
版權(quán)所有 © 2024 沈陽科晶自動化設(shè)備有限公司  備案號:遼ICP備07009795號-2

TEL:

關(guān)注公眾號