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  • 微型PECVD系統(tǒng)

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    更新日期:2016-04-07
    型號(hào):
    廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • RTP-1000-F3LV快速升溫CVD系統(tǒng)RTP-1000-F3LV

    快速升溫CVD系統(tǒng)RTP-1000-F3LV是專為半導(dǎo)體基片、太陽(yáng)能電池及其它樣品(尺寸可達(dá) 3″ )的退火而設(shè)計(jì),配有3路流量計(jì)和機(jī)械泵。本機(jī)采用 9KW的紅外燈進(jìn)行加熱,Z快升溫速度可達(dá) 100℃/s,配有RS485 接口,可以通過(guò)控制軟件在計(jì)算機(jī)上控制運(yùn)行并顯示溫度曲線。

    更新日期:2016-04-12
    型號(hào):RTP-1000-F3LV
    廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • OTF-1200X-F3LV開啟式單溫區(qū)低真空CVD系統(tǒng)OTF-1200X-F3LV

    開啟式單溫區(qū)低真空CVD系統(tǒng)OTF-1200X-F3LV是由開啟式單溫區(qū)管式爐、機(jī)械泵、三通道浮子混氣系統(tǒng)組成,可為CVD或擴(kuò)散實(shí)驗(yàn)提供1-3種的混合氣體,真空度可達(dá)10-2torr。

    更新日期:2016-04-12
    型號(hào):OTF-1200X-F3LV
    廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • OTF-1200X-80-C2HV高真空CVD系統(tǒng)OTF-1200X-80-C2HV

    高真空CVD系統(tǒng)OTF-1200X-80-C2HV是由單溫區(qū)管式爐、兩路質(zhì)子混氣系統(tǒng)和高真空機(jī)組組成,Z高工作溫度可達(dá)1200℃,混氣系統(tǒng)可以對(duì)兩種氣體進(jìn)行精確的混氣,然后導(dǎo)入管式爐內(nèi)部,本系統(tǒng)極限真空度可達(dá)10-5 torr。

    更新日期:2016-04-12
    型號(hào):OTF-1200X-80-C2HV
    廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • OTF-1200X-4-C4LV1200℃雙管滑動(dòng)式四通道混氣CVD系統(tǒng) OTF-1200X-4-C4LV

    1200℃雙管滑動(dòng)式四通道混氣CVD系統(tǒng)OTF-1200X-4-C4LV是專門為在金屬箔表面生長(zhǎng)薄膜而設(shè)計(jì)的,特別是應(yīng)用在新一代能源——柔性金屬箔電極方面的研究。

    更新日期:2016-04-12
    型號(hào):OTF-1200X-4-C4LV
    廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • OTF-1200X-4-RTP-C3HV高真空快速CVD系統(tǒng)OTF-1200X-4-RTP-C3HV

    高真空快速CVD系統(tǒng)OTF-1200X-4-RTP-C3HV是由4″RTP爐、三通道混氣系統(tǒng)和高真空機(jī)組組成,可進(jìn)行半導(dǎo)體基片、太陽(yáng)能電池及其它樣品(尺寸可達(dá) 3″ )的退火,并采用 10KW的紅外燈進(jìn)行加熱,Z快升溫速度可達(dá) 120℃/s,配有RS485 接口,可以通過(guò)控制軟件在計(jì)算機(jī)上控制運(yùn)行并顯示溫度曲線。

    更新日期:2016-04-12
    型號(hào):OTF-1200X-4-RTP-C3HV
    廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
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