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高真空CVD系統(tǒng)OTF-1200X-80-C2HV

簡要描述:高真空CVD系統(tǒng)OTF-1200X-80-C2HV是由單溫區(qū)管式爐、兩路質(zhì)子混氣系統(tǒng)和高真空機(jī)組組成,Z高工作溫度可達(dá)1200℃,混氣系統(tǒng)可以對兩種氣體進(jìn)行精確的混氣,然后導(dǎo)入管式爐內(nèi)部,本系統(tǒng)極限真空度可達(dá)10-5 torr。

  • 產(chǎn)品型號(hào):OTF-1200X-80-C2HV
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間:2016-04-12
  • 訪  問  量:1627

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詳細(xì)介紹

 

產(chǎn)品型號(hào)

  高真空CVD系統(tǒng)OTF-1200X-80-C2HV

主要特點(diǎn)

  1層殼體,配有風(fēng)冷系統(tǒng),殼體溫度<60℃。

  2、內(nèi)爐膛表面涂有美國進(jìn)口氧化鋁涂層,可以提高反射率和保護(hù)爐膛潔凈度。

  3PID控制器 ,可以設(shè)置30段升降溫程序。

  4、質(zhì)量流量系統(tǒng)采用316不銹鋼制作而成。

  5、已通過CE認(rèn)證。

技術(shù)參數(shù)

  管式爐

  1、電源:AC 220V   50/60Hz

  2、石英管:外徑Φ80mm,內(nèi)徑Φ75mm,長1000mm

  3、加熱元件:摻鉬鐵鉻鋁合金電阻絲(表面涂有氧化鋯)

  4、加熱區(qū)域:440mm

  5、恒溫區(qū)域:150mm

  6、工作溫度:zui高1200,連續(xù)工作1100

  7、zui大升降溫速率:20/min

  8、控溫精度:±1

  9、熱電偶:K

  高真空機(jī)組

  1、殼體:600mm×600mm×700mm,zui大承重275kg

  2、真空泵:德國Pfeiffer真空泵

  3、顯示屏:LCD數(shù)字顯示

  4、抽氣速率:N2-33L/s,He-39L/s,H2-32L/s

  5、工作范圍:1000mtorr-10-7mtorr

  6、極限:10-8mtorr(無泄漏)

  質(zhì)量流量混氣系統(tǒng)

  1、電源:單相AC208-240V  50/60Hz

  2、功率:18W

  3尺寸:600mm×600mm×700mm

  4、混氣箱:Φ80mm×120mm

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