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簡要描述:高真空CVD系統(tǒng)OTF-1200X-80-C2HV是由單溫區(qū)管式爐、兩路質(zhì)子混氣系統(tǒng)和高真空機(jī)組組成,Z高工作溫度可達(dá)1200℃,混氣系統(tǒng)可以對兩種氣體進(jìn)行精確的混氣,然后導(dǎo)入管式爐內(nèi)部,本系統(tǒng)極限真空度可達(dá)10-5 torr。
產(chǎn)品分類CLASSIFICATION
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詳細(xì)介紹
產(chǎn)品型號(hào) | 高真空CVD系統(tǒng)OTF-1200X-80-C2HV |
主要特點(diǎn) | 1、雙層殼體,配有風(fēng)冷系統(tǒng),殼體溫度<60℃。 2、內(nèi)爐膛表面涂有美國進(jìn)口氧化鋁涂層,可以提高反射率和保護(hù)爐膛潔凈度。 3、采用PID控制器 ,可以設(shè)置30段升降溫程序。 4、質(zhì)量流量系統(tǒng)采用316不銹鋼制作而成。 5、已通過CE認(rèn)證。 |
技術(shù)參數(shù) | 管式爐 1、電源:AC 220V 50/60Hz 2、石英管:外徑Φ80mm,內(nèi)徑Φ75mm,長1000mm 3、加熱元件:摻鉬鐵鉻鋁合金電阻絲(表面涂有氧化鋯) 4、加熱區(qū)域:440mm 5、恒溫區(qū)域:150mm 6、工作溫度:zui高1200℃,連續(xù)工作1100℃ 7、zui大升降溫速率:20℃/min 8、控溫精度:±1℃ 9、熱電偶:K型 |
高真空機(jī)組 1、殼體:600mm×600mm×700mm,zui大承重275kg 2、真空泵:德國Pfeiffer真空泵 3、顯示屏:LCD數(shù)字顯示 4、抽氣速率:N2-33L/s,He-39L/s,H2-32L/s 5、工作范圍:1000mtorr-10-7mtorr 6、極限:10-8mtorr(無泄漏) | |
質(zhì)量流量混氣系統(tǒng) 1、電源:單相AC208-240V 50/60Hz 2、功率:18W 3、尺寸:600mm×600mm×700mm 4、混氣箱:Φ80mm×120mm |
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