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微型PECVD系統(tǒng)

簡要描述:微型PECVD系統(tǒng)采用Φ 3“ × 16“ 的石英腔體,內(nèi)部設(shè)有加熱圈對樣品進(jìn)行加熱,Z高溫度可以達(dá)到400℃,且采用程序化控溫,系統(tǒng)還配有2通道混氣裝置和雙旋機(jī)械泵,整套系統(tǒng)安放于移動(dòng)架上,便于實(shí)驗(yàn)操作。本系統(tǒng)系對于薄膜生長和納米線的制作是Z佳的選擇。

  • 產(chǎn)品型號:
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間:2016-04-07
  • 訪  問  量:1915

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詳細(xì)介紹

 

產(chǎn)品型號

  微型PECVD系統(tǒng)

主要特點(diǎn)

  1、加熱圈套有石英罩,以減小熱量損失。

  2、樣品可置于加圈內(nèi),以達(dá)到更好的加熱效率和溫度均勻性。

  3、采用PID方式調(diào)節(jié)溫度,可設(shè)置30段升降溫程序。

  4、設(shè)有一滑動(dòng)法蘭安裝于移動(dòng)加上,以便于樣品的放入和取出。

  5、已通過CE認(rèn)證。

技術(shù)參數(shù)

  等離子源

  1、等離子體射頻電源:110/220V  50/60Hz  <100W

  2、輸出頻率:13.56MHz

  3、射頻功率:7.2W10.5W、18W三檔,可調(diào)節(jié)

  4、腔體尺寸:外徑Φ76.2mm×內(nèi)徑Φ68.58mm×長406.4mm

  5、加熱圈:電源220V,zui大功率500W,外徑Φ50mm×內(nèi)徑Φ40mm×70mm,并套有內(nèi)徑Φ50.8mm×

                        Φ75mm的石英罩

  6、法蘭Φ3″不銹鋼法蘭,設(shè)有KF-25真空泵接口、1/4″卡套接頭、不銹鋼針閥

  7、通入氣體:可通入多種惰性氣體,如N2、Ar,不可通入易燃易爆性氣體

  8、真空度:10-2torr(機(jī)械泵)

  兩通道混氣系統(tǒng)

  1、浮子流量計(jì):10-100ml/min2個(gè)

  2、針閥:304不銹鋼針閥,3個(gè)

  3、壓力表:-0.1-1.0MPa0.01MPa/grid),3個(gè)

  真空泵

  1、抽氣速率:120L/min

  2、接口:KF-25

產(chǎn)品規(guī)格

  1、尺寸:等離子源216mm×254mm×203mm,控制盒102mm×254mm×203mm,兩通道混氣系統(tǒng)340mm×

                   300mm×180mm,移動(dòng)架600mm×600mm×1250mm

  2、重量:32kg

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