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簡要描述:微型PECVD系統(tǒng)采用Φ 3“ × 16“ 的石英腔體,內(nèi)部設(shè)有加熱圈對樣品進(jìn)行加熱,Z高溫度可以達(dá)到400℃,且采用程序化控溫,系統(tǒng)還配有2通道混氣裝置和雙旋機(jī)械泵,整套系統(tǒng)安放于移動(dòng)架上,便于實(shí)驗(yàn)操作。本系統(tǒng)系對于薄膜生長和納米線的制作是Z佳的選擇。
產(chǎn)品分類CLASSIFICATION
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詳細(xì)介紹
產(chǎn)品型號 | 微型PECVD系統(tǒng) |
主要特點(diǎn) | 1、加熱圈套有石英罩,以減小熱量損失。 2、樣品可置于加圈內(nèi),以達(dá)到更好的加熱效率和溫度均勻性。 3、采用PID方式調(diào)節(jié)溫度,可設(shè)置30段升降溫程序。 4、設(shè)有一滑動(dòng)法蘭安裝于移動(dòng)加上,以便于樣品的放入和取出。 5、已通過CE認(rèn)證。 |
技術(shù)參數(shù) | 等離子源 1、等離子體射頻電源:110/220V 50/60Hz <100W 2、輸出頻率:13.56MHz 3、射頻功率:7.2W、10.5W、18W三檔,可調(diào)節(jié) 4、腔體尺寸:外徑Φ76.2mm×內(nèi)徑Φ68.58mm×長406.4mm 5、加熱圈:電源220V,zui大功率500W,外徑Φ50mm×內(nèi)徑Φ40mm×70mm,并套有內(nèi)徑Φ50.8mm× Φ75mm的石英罩 6、法蘭:Φ3″不銹鋼法蘭,設(shè)有KF-25真空泵接口、1/4″卡套接頭、不銹鋼針閥 7、通入氣體:可通入多種惰性氣體,如N2、Ar,不可通入易燃易爆性氣體 8、真空度:10-2torr(機(jī)械泵) |
兩通道混氣系統(tǒng) 1、浮子流量計(jì):10-100ml/min,2個(gè) 2、針閥:304不銹鋼針閥,3個(gè) 3、壓力表:-0.1-1.0MPa(0.01MPa/grid),3個(gè) | |
真空泵 1、抽氣速率:120L/min 2、接口:KF-25 | |
產(chǎn)品規(guī)格 | 1、尺寸:等離子源216mm×254mm×203mm,控制盒102mm×254mm×203mm,兩通道混氣系統(tǒng)340mm× 300mm×180mm,移動(dòng)架600mm×600mm×1250mm 2、重量:32kg |
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