国产精品 欧美精品aⅴ在线-真实国产日韩欧美全部综合视频-精品精品国产欧美在线观看-最新免费网站高清国产欧美

Product Center

產(chǎn)品中心

當(dāng)前位置:首頁(yè)  >  產(chǎn)品中心  >  CVD及PECVD系統(tǒng)  >  CBD/PECVD系統(tǒng)  >  OTF-1200X-4-RTP-C3HV高真空快速CVD系統(tǒng)OTF-1200X-4-RTP-C3HV

高真空快速CVD系統(tǒng)OTF-1200X-4-RTP-C3HV

簡(jiǎn)要描述:高真空快速CVD系統(tǒng)OTF-1200X-4-RTP-C3HV是由4″RTP爐、三通道混氣系統(tǒng)和高真空機(jī)組組成,可進(jìn)行半導(dǎo)體基片、太陽(yáng)能電池及其它樣品(尺寸可達(dá) 3″ )的退火,并采用 10KW的紅外燈進(jìn)行加熱,Z快升溫速度可達(dá) 120℃/s,配有RS485 接口,可以通過(guò)控制軟件在計(jì)算機(jī)上控制運(yùn)行并顯示溫度曲線。

  • 產(chǎn)品型號(hào):OTF-1200X-4-RTP-C3HV
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間:2016-04-12
  • 訪  問(wèn)  量:1548

相關(guān)文章ARTICLES

詳細(xì)介紹

 

產(chǎn)品型號(hào)

  高真空快速CVD系統(tǒng)OTF-1200X-4-RTP-C3HV

主要特點(diǎn)

  1、Al2O3纖維鋼構(gòu),無(wú)需水冷或風(fēng)冷。

  2、內(nèi)爐膛表面涂有進(jìn)口高溫氧化鋁涂層,可以提高設(shè)備的加熱效率及延長(zhǎng)儀器的使用壽命。

  3、PID制器 ,可以設(shè)置30段升降溫程序,并設(shè)有過(guò)熱保護(hù)和斷偶功能。

  4、通過(guò)CE認(rèn)證。

技術(shù)參數(shù)

  1、電源:?jiǎn)蜗?/span>208-240V AC  50/60Hz  10KW

  2、石英管:外徑Φ110mm,內(nèi)徑Φ103mm,長(zhǎng)380mm

  3、加熱元件:8根紅外燈管,燈絲長(zhǎng)200mm,絲圈Φ10mm,燈長(zhǎng)300mm

  4、加熱區(qū):300mm

  5、工作溫度:zui高溫度1100

  6控溫精度:±0.5

  7、zui高升溫速度:RT-800℃時(shí)為50/s,800-1000℃時(shí)為10/s

  8、溫控儀:可控硅(SCRPID自動(dòng)控制

  9、真空法蘭:不銹鋼,帶有水冷接口和針閥,雙層高溫O型圈密封,長(zhǎng)時(shí)間在>900℃條件下運(yùn)行必須采用水                  冷,循環(huán)水流量為0.5m3/hr

  10、真空度:10-2torr(機(jī)械泵),10-5torr(分子泵)

  11、質(zhì)量流量計(jì):3個(gè),MFC1范圍0-100sccmMFC2范圍0-200sccm,MFC3范圍0-500sccm,精度1±%FS

  12氣罐:Φ80mm×120mm

產(chǎn)品規(guī)格

  尺寸:爐體760mm×330mm×530mm,真空混氣系統(tǒng)600mm×600mm×597mm

  重量:爐體45kg,真空混氣系統(tǒng)75kg

 

產(chǎn)品咨詢

留言框

  • 產(chǎn)品:

  • 您的單位:

  • 您的姓名:

  • 聯(lián)系電話:

  • 常用郵箱:

  • 省份:

  • 詳細(xì)地址:

  • 補(bǔ)充說(shuō)明:

  • 驗(yàn)證碼:

    請(qǐng)輸入計(jì)算結(jié)果(填寫(xiě)阿拉伯?dāng)?shù)字),如:三加四=7
歡迎您的咨詢
我們將竭盡全力為您用心服務(wù)
2885379450
關(guān)注公眾號(hào)
版權(quán)所有 © 2024 沈陽(yáng)科晶自動(dòng)化設(shè)備有限公司  備案號(hào):遼ICP備07009795號(hào)-2

TEL:

關(guān)注公眾號(hào)