国产精品 欧美精品aⅴ在线-真实国产日韩欧美全部综合视频-精品精品国产欧美在线观看-最新免费网站高清国产欧美

Product Center

產(chǎn)品中心

當(dāng)前位置:首頁(yè)  >  產(chǎn)品中心  >  CVD及PECVD系統(tǒng)  >  CBD/PECVD系統(tǒng)  >  高真空三溫區(qū)CVD系統(tǒng)OTF-1200X-4-Ⅲ-C9HV

高真空三溫區(qū)CVD系統(tǒng)OTF-1200X-4-Ⅲ-C9HV

簡(jiǎn)要描述:高真空三溫區(qū)CVD系統(tǒng)OTF-1200X-4-Ⅲ-C9HV是由九通道質(zhì)量流量控制器和高真空機(jī)組組成的CVD系統(tǒng),其爐管直徑為4″,Z高溫度可達(dá)1200℃,極限真空可達(dá) 10-5 torr,混氣系統(tǒng)可對(duì)1-9種氣體進(jìn)行精確的混合,然后導(dǎo)入管式爐內(nèi)部,可用來(lái)研究氣體環(huán)境對(duì)材料的影響。

  • 產(chǎn)品型號(hào):
  • 廠(chǎng)商性質(zhì):生產(chǎn)廠(chǎng)家
  • 更新時(shí)間:2019-03-06
  • 訪(fǎng)  問(wèn)  量:1064

相關(guān)文章ARTICLES

詳細(xì)介紹

品牌其他品牌產(chǎn)地類(lèi)別國(guó)產(chǎn)

 

產(chǎn)品型號(hào)

  高真空三溫區(qū)CVD系統(tǒng)OTF-1200X-4--C9HV

主要特點(diǎn)

  1、爐體采用雙層殼體結(jié)構(gòu),并帶有風(fēng)冷系統(tǒng),使得殼體表面的溫度<60°。

  2、保溫材料采用高純氧化鋁纖維,減少熱量損失,且內(nèi)膛涂有高溫氧化鋁涂層,可提高加熱效率,延長(zhǎng)使用            壽命。

  3、設(shè)有三個(gè)溫區(qū),可獨(dú)立控溫,可設(shè)置50段升降溫程序,并設(shè)有過(guò)熱和斷偶保護(hù)。

  4、供氣系統(tǒng)與真空機(jī)組置于移動(dòng)架內(nèi),方便移動(dòng)。

  5、真空系統(tǒng)采用一鍵操作,按下“start 鍵后隔膜泵和渦輪分子泵將會(huì)啟動(dòng)(隔膜泵先啟動(dòng),待真空度達(dá)到10-2

        mbar后分子泵自動(dòng)啟動(dòng))。

  6、根據(jù)腔體內(nèi)的真空度,系統(tǒng)自動(dòng)控制旋片泵的旋轉(zhuǎn)速率。

  7、已通過(guò)CE認(rèn)證。

技術(shù)參數(shù)

  管式爐

  1、電源:AC 208-240V單相   50/60Hz  7KW

  2、爐管:高純石英管,外徑Φ100mm×內(nèi)徑Φ92mm×1400mm

  3、加熱元件:摻鉬鐵鉻鋁合金電阻絲,表面涂有氧化鋯

  4、加熱區(qū):溫區(qū)I長(zhǎng)220mm,溫區(qū)II長(zhǎng)440mm,溫度III長(zhǎng)220mm,總長(zhǎng)880mm

  5、恒溫區(qū):500mm(三個(gè)溫區(qū)設(shè)為同一溫度時(shí))

  6、工作溫度:zui高1200℃,連續(xù)工作1100

  7、zui大升溫速率:≤20/min

  8、控溫精度:±1

  9、熱電偶:3K型熱電偶

  高真空機(jī)組

  1、輸入電源:AC110VAC220V可切換  50/60Hz

  2、消耗功率:110W

  3、殼體尺寸:600mm×600mm×700mm

  4、zui大承重量:270kg

  5、抽氣速率:N2-33L/s,He-39L/s,H2-32L/s

  6、工作范圍:1000mbar-<10-7mbar

  7、極限真空度:10-5torr

  8、數(shù)字式真空顯示計(jì):10-8mbar-103mbar

  質(zhì)量流量混氣系統(tǒng)

  1、質(zhì)量流量計(jì):9通道精密質(zhì)量流量計(jì)

  2、流量計(jì)范圍:10-1000sccm三個(gè),20-200sccm三個(gè),30-10sccm三個(gè)

  3、壓力表:3個(gè),用來(lái)檢測(cè)混合氣體壓力

產(chǎn)品規(guī)格

  尺寸:爐體550mm×380mm×520mm,高真空機(jī)組600mm×600mm×700mm,質(zhì)量流量混氣系統(tǒng)600mm×600

              mm×700mm

  重量:100kg

真空配件

1

  不銹鋼真空密封法蘭

2個(gè)

2

  精密針閥

2個(gè)

3

  1/4軟管接頭

1個(gè)

4

  高溫硅膠O型密封圈(zui高可承受300℃)

6個(gè)

5

  氧化鋁管堵

1

6

  KF-40真空波紋管

1

7

  KF-40快速卡箍

3個(gè)

8

  KF-25卡箍

2個(gè)

可選配件

  防腐型數(shù)字真空顯示計(jì)

產(chǎn)品咨詢(xún)

留言框

  • 產(chǎn)品:

  • 您的單位:

  • 您的姓名:

  • 聯(lián)系電話(huà):

  • 常用郵箱:

  • 省份:

  • 詳細(xì)地址:

  • 補(bǔ)充說(shuō)明:

  • 驗(yàn)證碼:

    請(qǐng)輸入計(jì)算結(jié)果(填寫(xiě)阿拉伯?dāng)?shù)字),如:三加四=7
歡迎您的咨詢(xún)
我們將竭盡全力為您用心服務(wù)
2885379450
關(guān)注公眾號(hào)
版權(quán)所有 © 2024 沈陽(yáng)科晶自動(dòng)化設(shè)備有限公司  備案號(hào):遼ICP備07009795號(hào)-2

TEL:

關(guān)注公眾號(hào)