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帶滑動法蘭三溫區(qū)CVD系統(tǒng)OTF-1200X-5-III-F3LV

簡要描述:帶滑動法蘭三溫區(qū)CVD系統(tǒng)OTF-1200X-5-III-F3LV可以快速加熱至1200℃,并通過調(diào)整三個溫區(qū)而建立不同梯度的熱場,可進(jìn)行退火、擴(kuò)散、在不同氣氛中燒結(jié)樣品及CVD等實驗。

  • 產(chǎn)品型號:OTF-1200X-5-III-F3LV
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時間:2016-04-12
  • 訪  問  量:1024

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詳細(xì)介紹

 

產(chǎn)品型號

  帶滑動法蘭三溫區(qū)CVD系統(tǒng)OTF-1200X-5-III-F3LV

主要特點

  1雙層殼體,配有冷系統(tǒng),爐體采用高純度氧化鋁多晶纖維保溫材料

  2、內(nèi)爐膛表面涂有美國進(jìn)口氧化鋁涂層,可以提高反射率和保護(hù)爐膛潔凈度

  3、一端法蘭配有滑軌,便于樣品裝卸;另一端法蘭裝有數(shù)字真空計。

  4、采用三個獨立PID控制器 ,可以設(shè)置30段升降溫程序,設(shè)有過熱和斷偶保護(hù)功能。

  5、已通CE認(rèn)證

技術(shù)參數(shù)

  1、電源:單相AC 208-240V   50/60Hz  7KW 40A保險絲)

  2、石英管:外徑Φ125mm,內(nèi)徑120mm,長1400mm,帶有一對真空密封法蘭

  3、加熱元件:摻鉬鐵鉻鋁合金電阻絲

  4、加熱區(qū)域:溫區(qū)I229mm,溫區(qū)II457mm,溫區(qū)III229mm,總長915mm

  5、恒溫區(qū)域:三個溫區(qū)為同一溫度時為625mm,溫區(qū)II110mm

  6、工作溫度:zui高1200,連續(xù)工作1100

  7、zui大升降溫速率:20/min

  8、控溫精度:±1

  9、熱電偶:K

  10、浮子流量計:3個,量程0-100ml/min0-160ml/min、0-250ml/min

  11、數(shù)字真空計:10-4torr

產(chǎn)品規(guī)格

  尺寸:管式爐1080mm×430mm×600mm;重量:70kg

 

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