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簡要描述:帶滑動法蘭三溫區(qū)CVD系統(tǒng)OTF-1200X-5-III-F3LV可以快速加熱至1200℃,并通過調(diào)整三個溫區(qū)而建立不同梯度的熱場,可進(jìn)行退火、擴(kuò)散、在不同氣氛中燒結(jié)樣品及CVD等實驗。
產(chǎn)品分類CLASSIFICATION
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詳細(xì)介紹
產(chǎn)品型號 | 帶滑動法蘭三溫區(qū)CVD系統(tǒng)OTF-1200X-5-III-F3LV |
主要特點 | 1、雙層殼體,配有冷系統(tǒng),爐體采用高純度氧化鋁多晶纖維保溫材料。 2、內(nèi)爐膛表面涂有美國進(jìn)口氧化鋁涂層,可以提高反射率和保護(hù)爐膛潔凈度。 3、一端法蘭配有滑軌,便于樣品裝卸;另一端法蘭裝有數(shù)字真空計。 4、采用三個獨立PID控制器 ,可以設(shè)置30段升降溫程序,設(shè)有過熱和斷偶保護(hù)功能。 5、已通過CE認(rèn)證。 |
技術(shù)參數(shù) | 1、電源:單相AC 208-240V 50/60Hz 7KW (40A保險絲) 2、石英管:外徑Φ125mm,內(nèi)徑120mm,長1400mm,帶有一對真空密封法蘭 3、加熱元件:摻鉬鐵鉻鋁合金電阻絲 4、加熱區(qū)域:溫區(qū)I長229mm,溫區(qū)II長457mm,溫區(qū)III長229mm,總長915mm 5、恒溫區(qū)域:三個溫區(qū)為同一溫度時為625mm,溫區(qū)II為110mm 6、工作溫度:zui高1200℃,連續(xù)工作1100℃ 7、zui大升降溫速率:20℃/min 8、控溫精度:±1℃ 9、熱電偶:K型 10、浮子流量計:3個,量程0-100ml/min、0-160ml/min、0-250ml/min 11、數(shù)字真空計:10-4torr |
產(chǎn)品規(guī)格 | 尺寸:管式爐1080mm×430mm×600mm;重量:70kg |
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