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4路質(zhì)子混氣管式PECVD系統(tǒng)

簡要描述:4路質(zhì)子混氣管式PECVD系統(tǒng)是為了使化學(xué)反應(yīng)能在較低的溫度下進行,利用了等離子體的活性來促進反應(yīng),環(huán)境溫度在100-300℃,但反應(yīng)氣體在輝光放電等離子體中能受激分解、離解和離化,從而大大提高了反應(yīng)物的活性,這些具有反應(yīng)活性的中性物質(zhì)很容易被吸附到較次溫度的基本表面上,發(fā)生非平衡的化學(xué)反應(yīng)沉積生成薄膜,因此這種CVD稱為等離子體增強化學(xué)氣相沉積法(PECVD)。

  • 產(chǎn)品型號:
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時間:2016-04-12
  • 訪  問  量:1242

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詳細介紹

 

產(chǎn)品型號

  4路質(zhì)子混氣管式PECVD系統(tǒng)

主要特點

  1內(nèi)爐膛表面涂有美國進口的高溫氧化鋁涂層可以提高設(shè)備的加熱效率,同時也可以延長儀器的使用壽命。

  2、輝光放電等離子體中電子密度可達109-1012cm3。

  3、電子氣體溫度比普通氣體分子溫度高出10-100倍。

  4、配有高精度數(shù)字顯示質(zhì)量流量計,可準確地控制氣體流量。

  5、一個氣體混氣罐的底部安裝了液體釋放閥。

  6、不銹鋼針閥安裝在左側(cè)部分,可手動控制混合氣體的輸入。

  7、已通過CE認證。

技術(shù)參數(shù)

  管式爐

  1、電源:AC220V  4KW

  2、爐管:Φ50mm,Φ60mm,Φ80mm都可用

  3、溫度控制器:30段高精度數(shù)字可編程溫度控制器

  4、加熱區(qū):440mm

  5、恒溫區(qū):150mm

  等離子射頻電源

  1、輸入功率:AC220V  1KW

  2、輸出功率:50-500W可調(diào),±1%

  3RF頻率:13.56MHz可調(diào),±0.005%穩(wěn)定

  4、噪聲:≤55DB

  5、冷卻:風(fēng)冷

  真空泵和質(zhì)量流量計

  1、真空度:10-3torr

  2、波紋管:KF25系列

  3、質(zhì)量流量計:0-200,誤差0.02%,進氣口采用標準雙卡頭

產(chǎn)品規(guī)格

  尺寸:管式爐550mm×380mm×520mm,供氣及真空系統(tǒng)600mm×600mm×1250mm

  重量:120kg

可選配件

  防腐型數(shù)字式真空計

 

     

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