產(chǎn)品中心
當(dāng)前位置:首頁(yè) > 產(chǎn)品中心 > CVD及PECVD系統(tǒng) > CBD/PECVD系統(tǒng) > GSL-1700X-F3LV1700℃單溫區(qū)三通道混氣CVD系統(tǒng)GSL-1700X-F3LV
簡(jiǎn)要描述:1700℃單溫區(qū)三通道混氣CVD系統(tǒng)GSL-1700X-F3LV是由單溫區(qū)管式爐、三路浮子混氣系統(tǒng)和雙旋片式真空泵組成,Z高工作溫度可達(dá)1700℃,混氣系統(tǒng)可以對(duì)三種氣體進(jìn)行精確的混氣,真空度可達(dá)5×10-2 torr。
產(chǎn)品分類CLASSIFICATION
相關(guān)文章ARTICLES
詳細(xì)介紹
產(chǎn)品型號(hào) | 1700℃單溫區(qū)三通道混氣CVD系統(tǒng)GSL-1700X-F3LV |
主要特點(diǎn) | 1、雙層殼體,配有風(fēng)冷系統(tǒng),殼體溫度<55℃。 2、采用高純度氧化鋁多晶纖維保溫材料,有效減少能量損失。 3、內(nèi)爐膛表面涂有美國(guó)進(jìn)口氧化鋁涂層,可以提高加熱效率和延長(zhǎng)使用壽命。 4、采用PID控制器 ,可以設(shè)置30段升降溫程序,并設(shè)有過(guò)熱和斷偶保護(hù)功能。 5、已通過(guò)CE認(rèn)證。 |
技術(shù)參數(shù) | 管式爐 1、電源:?jiǎn)蜗?/span>AC 208-240V 50/60Hz 5KW 2、爐管:99.8%高純氧化鋁陶瓷管,外徑Φ80mm,內(nèi)徑Φ72mm,長(zhǎng)1000mm 3、加熱元件:1800℃級(jí)硅鉬棒8根 4、加熱區(qū)域:457mm 5、恒溫區(qū)域:150mm 6、工作溫度:zui高1700℃ 7、zui大升降溫速率:5℃/min 8、控溫精度:±1℃ 9、真空度:5×10-2 torr 10、泄漏率:zui大6mtorr/min |
真空系統(tǒng) 1、真空泵:雙旋片機(jī)械泵 2、可達(dá)真空度:5×10-2 torr 3、法蘭:不銹鋼密封法蘭 4、針閥:2個(gè)不銹鋼針閥 5、真空泵接口:KF-25 6、軟管接頭:1/4″ 7、真空顯示計(jì):LED數(shù)字式真空顯示計(jì),測(cè)量范圍0.1mtorr-850torr | |
浮子流量混氣系統(tǒng) 1、浮子流量計(jì):3個(gè),精確度4%FS 2、流量計(jì)范圍:10-100cc/min,16-160cc/min,25-250cc/min 3、壓力表:1個(gè),監(jiān)測(cè)混合氣體壓力 | |
產(chǎn)品規(guī)格 | 尺寸:管式爐550mm×500mm×700mm,混氣系統(tǒng)600mm×600mm×700mm,真空機(jī)組600mm× 600mm×700mm 重量:210kg |
可選配件 | 防腐型數(shù)字真空顯示計(jì) |
產(chǎn)品咨詢