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1700℃單溫區(qū)三通道混氣CVD系統(tǒng)GSL-1700X-F3LV

簡(jiǎn)要描述:1700℃單溫區(qū)三通道混氣CVD系統(tǒng)GSL-1700X-F3LV是由單溫區(qū)管式爐、三路浮子混氣系統(tǒng)和雙旋片式真空泵組成,Z高工作溫度可達(dá)1700℃,混氣系統(tǒng)可以對(duì)三種氣體進(jìn)行精確的混氣,真空度可達(dá)5×10-2 torr。

  • 產(chǎn)品型號(hào):GSL-1700X-F3LV
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間:2016-04-12
  • 訪  問(wèn)  量:1195

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詳細(xì)介紹

 

產(chǎn)品型號(hào)

  1700℃單溫區(qū)三通道混氣CVD系統(tǒng)GSL-1700X-F3LV

主要特點(diǎn)

  1、雙層殼體,配有風(fēng)冷系統(tǒng),殼體溫度<55℃。

  2采用高純度氧化鋁多晶纖維保溫材料,有效減少能量損失。

  3、內(nèi)爐膛表面涂有美國(guó)進(jìn)口氧化鋁涂層,可以提高加熱效率和延長(zhǎng)使用壽命。

  4、PID控制器 ,可以設(shè)置30段升降溫程序,并設(shè)有過(guò)熱和斷偶保護(hù)功能。

  5、通過(guò)CE認(rèn)證。

技術(shù)參數(shù)

  管式爐

  1、電源:?jiǎn)蜗?/span>AC 208-240V   50/60Hz  5KW

  2、爐管:99.8%高純氧化鋁陶瓷管,外徑Φ80mm,內(nèi)徑Φ72mm,長(zhǎng)1000mm

  3、加熱元件:1800級(jí)硅鉬棒8

  4、加熱區(qū)域:457mm

  5、恒溫區(qū)域:150mm

  6工作溫度:zui高1700

  7、zui大升降溫速率:5/min

  8、控溫精度:±1

  9、真空度:5×10-2 torr

  10、泄漏率:zui大6mtorr/min

  真空系統(tǒng)

  1、真空泵:雙旋片機(jī)械泵

  2、可達(dá)真空度:5×10-2 torr

  3、法蘭:不銹鋼密封法蘭

  4、針閥:2個(gè)不銹鋼針閥

  5、真空泵接口:KF-25

  6、軟管接頭:1/4

  7、真空顯示計(jì):LED數(shù)字式真空顯示計(jì),測(cè)量范圍0.1mtorr-850torr

  浮子流量混氣系統(tǒng)

  1、浮子流量計(jì):3個(gè),精確度4%FS

  2、流量計(jì)范圍:10-100cc/min,16-160cc/min25-250cc/min

  3、壓力表:1個(gè),監(jiān)測(cè)混合氣體壓力

產(chǎn)品規(guī)格

  尺寸:管式爐550mm×500mm×700mm,混氣系統(tǒng)600mm×600mm×700mm,真空機(jī)組600mm×

             600mm×700mm

  重量:210kg

可選配件

  防腐型數(shù)字真空顯示計(jì)

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