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1700℃兩通道混氣高真空CVD系統(tǒng)GSL-1700X-4-C2HV

簡(jiǎn)要描述:1700℃兩通道混氣高真空CVD系統(tǒng)GSL-1700X-4-C2HV是由單溫區(qū)管式爐、兩路質(zhì)子混氣系統(tǒng)和高真空機(jī)組組成,Z高工作溫度可達(dá)1600℃,混氣系統(tǒng)可以對(duì)兩種氣體進(jìn)行精確的混氣,然后導(dǎo)入管式爐內(nèi)部,本系統(tǒng)極限真空度可達(dá)10-5 torr。

  • 產(chǎn)品型號(hào):GSL-1700X-4-C2HV
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間:2016-04-12
  • 訪  問(wèn)  量:1084

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詳細(xì)介紹

 

產(chǎn)品型號(hào)

  1700℃兩通道混氣高真空CVD系統(tǒng)GSL-1700X-4-C2HV

主要特點(diǎn)

  1、雙層殼體,配有風(fēng)冷系統(tǒng),殼體溫度<55℃。

  2、采用高純氧化鋁纖維,有效減少熱量損失。

  3內(nèi)爐膛表面涂有美國(guó)進(jìn)口氧化鋁涂層,可以提高加熱效率和使用壽命

  4、PID控制器 ,可以設(shè)置30段升降溫程序。

  5、已通過(guò)CE認(rèn)證。

技術(shù)參數(shù)

  管式爐

  1、電源:?jiǎn)蜗?/span>AC 208-240V   50/60Hz  6KW

  2、爐管:高純氧化鋁陶瓷管,外徑Φ100mm,內(nèi)徑Φ92mm,長(zhǎng)1000mm

  3、加熱元件:1800℃硅鉬棒8

  4、加熱區(qū)域:457mm

  5、恒溫區(qū)域:150mm

  6工作溫度:zui高1650,連續(xù)工作1600

  7、zui大升溫速率:≤5/min

  8、控溫精度:±1

  9、熱電偶:B

  10、不銹鋼真空法蘭:1對(duì)

  11、機(jī)械壓力表:1個(gè)

  12、針閥:2個(gè)

  13、連接器:KF-251個(gè)

  14、抽氣接口:KF-25轉(zhuǎn)KF-40

  15、卡套接頭:1/4

  高真空機(jī)組

  1、電源:單相AC208-240V  50/60Hz  100-110W

  2、真空泵:德國(guó)Pfeiffer真空泵

  3、顯示屏:LCD數(shù)字顯示

  4、抽氣速率:N2-33L/s,He-39L/s,H2-32L/s

  5、工作范圍:1000mtorr-10-7mtorr

  6、極限:10-8mtorr(無(wú)泄漏)

  質(zhì)量流量混氣系統(tǒng)

  1、電源:?jiǎn)蜗?/span>AC208-240V  50/60Hz   18W

  2、功率:18W

   3混氣箱:Φ80mm×120mm

產(chǎn)品規(guī)格

  尺寸:管式爐550mm×380mm×520mm,高真空機(jī)組600mm×600mm×700mm,質(zhì)量流量混氣系統(tǒng)600mm×

              600mm×700mm

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