国产精品 欧美精品aⅴ在线-真实国产日韩欧美全部综合视频-精品精品国产欧美在线观看-最新免费网站高清国产欧美

Product Center

產(chǎn)品中心

當(dāng)前位置:首頁(yè)  >  產(chǎn)品中心  >  真空鍍膜機(jī)  >  磁控濺射鍍膜  >  VTC-600-2HD-1000雙靶磁控濺射儀

VTC-600-2HD-1000雙靶磁控濺射儀

簡(jiǎn)要描述:VTC-600-2HD-1000雙靶磁控濺射儀與同類設(shè)備相比,且具有體積小便于操作的優(yōu)點(diǎn),且可使用的材料范圍廣,是一款實(shí)驗(yàn)室制備各類材料薄膜的理想設(shè)備。

  • 產(chǎn)品型號(hào):
  • 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間:2024-03-30
  • 訪  問(wèn)  量:327

詳細(xì)介紹

品牌其他品牌價(jià)格區(qū)間面議
產(chǎn)地類別國(guó)產(chǎn)應(yīng)用領(lǐng)域綜合

IMG_256VTC-600-2HD-1000雙靶磁控濺射儀是我公司自主新研制開(kāi)發(fā)的一款高真空鍍膜設(shè)備,可用于制備單層或多層鐵電薄膜、導(dǎo)電薄膜、合金薄膜、半導(dǎo)體薄膜、陶瓷薄膜、介質(zhì)薄膜、光學(xué)薄膜、氧化物薄膜、硬質(zhì)薄膜、聚四氟乙烯薄膜等。雙靶磁控濺射儀配備有兩個(gè)靶槍和兩個(gè)電源,一個(gè)射頻電源用于非導(dǎo)電材料的濺射鍍膜,一個(gè)直流電源用于導(dǎo)電材料的濺射鍍膜,可選配強(qiáng)磁靶用于鐵磁性材料的濺射鍍膜。與同類設(shè)備相比,且具有體積小便于操作的優(yōu)點(diǎn),且可使用的材料范圍廣,是一款實(shí)驗(yàn)室制備各類材料薄膜的理想設(shè)備。
IMG_2591、配置兩個(gè)靶槍,一個(gè)配套射頻電源用于非導(dǎo)電靶材的濺射鍍膜,一個(gè)配套直流電源用于導(dǎo)電性材料的濺射鍍膜。
2、可制備多種薄膜,應(yīng)用廣泛。
3、體積小,操作簡(jiǎn)便。IMG_261

產(chǎn)品名稱

VTC-600-2HD-1000雙靶磁控濺射儀

產(chǎn)品型號(hào)

VTC-600-2HD-1000

安裝條件

本設(shè)備要求在海拔1000m以下,溫度25℃±15℃,濕度55%Rh±10%Rh下使用。
1、水:設(shè)備配有自循環(huán)冷卻水機(jī)(加注純凈水或者去離子水)
2、電:AC220V 50Hz,必須有良好接地
3、氣:設(shè)備腔室內(nèi)需充注氬氣(純度99.99%以上),需自備氬氣氣瓶(自帶?6mm雙卡套接頭)及減壓閥
4、工作臺(tái):尺寸1500mm×600mm×700mm,承重200kg以上
5、通風(fēng)裝置:需要

主要參數(shù)

1、輸入電源:220V/50Hz
2、濺射靶數(shù)量:2
3、腔體內(nèi)徑:?300mm
4、靶槍冷卻方式:水冷
5、極限真空度:7.4E-5pa
6、真空室規(guī)格:Φ300×330 mm
7、真空系統(tǒng):VRD-16機(jī)械泵 FF-100/150渦輪分子泵
8、恢復(fù)真空:系統(tǒng)從大氣抽至5.0E-3pa≤30 min(系統(tǒng)短時(shí)間暴露大氣)
9、充氣系統(tǒng):2路質(zhì)量流量計(jì)(1路氬氣100scc、2路氬氣200scc)特殊氣體可定制
10、濺射靶規(guī)格:Φ2",厚度0.1-5mm(因靶材材質(zhì)不同厚度有所不同)
11、樣品臺(tái):Φ140mm/可旋轉(zhuǎn)(1~20rpm)/可加熱(室溫~1000℃)

產(chǎn)品規(guī)格

主機(jī)尺寸:寬900mm×深650mm×高1100mm


 


產(chǎn)品咨詢

留言框

  • 產(chǎn)品:

  • 您的單位:

  • 您的姓名:

  • 聯(lián)系電話:

  • 常用郵箱:

  • 省份:

  • 詳細(xì)地址:

  • 補(bǔ)充說(shuō)明:

  • 驗(yàn)證碼:

    請(qǐng)輸入計(jì)算結(jié)果(填寫阿拉伯?dāng)?shù)字),如:三加四=7
歡迎您的咨詢
我們將竭盡全力為您用心服務(wù)
2885379450
關(guān)注公眾號(hào)
版權(quán)所有 © 2024 沈陽(yáng)科晶自動(dòng)化設(shè)備有限公司  備案號(hào):遼ICP備07009795號(hào)-2

TEL:

關(guān)注公眾號(hào)