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VTC-16-3HD 3靶等離子濺射儀是一款緊湊型的等離子薄膜濺射儀(直流普通型),控制面板采用觸摸屏模式,基片極限尺寸為2″,放置樣品的直徑為Ø50mm,加熱溫度達(dá)500℃??蔀R射金、銀、銅三種靶材,不可以濺射輕金屬和碳。本機(jī)采用旋轉(zhuǎn)式樣品臺(tái),能夠依次在同一樣品上涂覆三層薄膜,適用于實(shí)驗(yàn)室制備復(fù)膜的樣品。采用PLC控制面
GSL-1100X-SPC-12等離子薄膜濺射儀專門為在基底上鍍金屬膜(如金、鉑、銦、銀等)而設(shè)計(jì),Z大放置樣品尺寸直徑為40mm,膜厚可達(dá)300Å,特別適用于為SEM樣品鍍金而作為導(dǎo)電極。